Platforma granîtê, wekî amûrek referansê ji bo pîvandin û hilberandina rast, parastina rastbûna wê rasterast bandorê li ser kalîteya hilberînê dike. Li jêr planeke parastinê ya sîstematîk peyda dike ku kontrola jîngehê, parastina rojane û kalibrkirina profesyonel vedihewîne da ku piştrast bike ku platform rastbûna asta nanometre ji bo demek dirêj diparêze.
1. Kontrola Jîngehê: Astengiyeke parastinê ya rast ava bikin
Birêvebirina germahî û şilbûnê
Pêdivî ye germahiya jîngeha xebatê li ser 20±1℃ were sabît kirin. Her guherîna 1℃ dê bibe sedema deformasyona germî ya platforma granît bi 0.5-1μm/m. Sîstemek germahiya sabît dikare di atolyeyê de were saz kirin da ku rê li ber bayê rasterast ê dergehên klîmayê li ser platformê bigire.
Divê şilbûn di navbera %40 û %60 de were kontrol kirin. Şilbûna zêde dikare bi hêsanî bibe sedema zengarkirina perçeyên metalî, lê şilbûna pir kêm dikare bibe sedema destwerdana elektrîka statîk di pîvandinê de.
Îzolasyona lerzînê
Divê platform ji çavkaniyên lerizînê yên wekî makîneyên mohrkirinê û makîneyên frezkirinê dûr were girtin. Tête pêşniyar kirin ku ji alavên lerizînê dûrbûnek ji 3 metreyan zêdetir were parastin.
Eger lerzîn neyê astengkirin, amortisorên bihara hewayî dikarin li binê platformê werin sazkirin da ku bandora lerzîna hawîrdorê li ser rûtbûna platformê kêm bikin (ku dikare lerzîna derve ji %80 zêdetir kêm bike).
2. Parastina Rojane: Kontroleke hûr û kûr ji paqijkirinê bigire heta parastinê
Taybetmendiya paqijkirina rûberê
Rakirina tozê: Ji bo ku toz (≥5μm) li ser platformê nexurînin, her roj rûyê wê bi çermê hirçan an jî bi qumaşek bêlîf di heman alî de paqij bikin. Lekeyên dijwar dikarin bi etanolê bêav (paqijî ≥99.7%) bi nermî werin paqijkirin. Çareserkerên bihêz ên wekî aseton nayên bikar anîn.
Paqijkirina rûnê: Ger bi lekeyên rûnê re bikeve têkiliyê, bi paqijkerek bêalî ya şilkirî paqij bikin, paşê bi ava bêîyonîze bişon û bi hewayê hişk bikin da ku rê li ber derbasbûna rûnê mîneral nav kunên piçûk ên platformê bigirin.
Parastina barkirin û pevçûnê
Kapasîteya hilgirtina bargiraniyê ya platformê divê di nav %70ê barê rêjeyî de were kontrol kirin (mînakî, ji bo platformek 1000 kg, tê pêşniyar kirin ku bar ≤700 kg be) da ku ji deformasyona mayînde ya ji ber zêdebariya herêmî çêbibe dûr bikevin.
Lêdana perçeyên kar li ser platformê bi tundî qedexe ye. Dema ku hûn amûran bikar tînin, lepikên nerm li xwe bikin da ku tiştên tûj rûyê wan nexurînin (xurandinên bi kûrahiya ji 20μm mezintir dê bandorê li pîvandina rêya ronahiya vegerandî bikin).
3. Pîvana Pîşeyî: Bingeha parastina rastbûnê bi awayekî zanistî
Mîhengkirina çerxa kalibrasyonê
Senaryoyên karanîna kevneşopî: Her sê mehan carekê kalibr bikin û ji bo tespîtkirina rûtbûnê (bi rastbûna ±0.5μm/m) interferometreyek lazer bikar bînin.
Bikaranîna bi frekanseke bilind an jîngehên dijwar: Pîvankirina mehane, bi balkişandina ser çavdêriya deverên hesas ên germahiyê (wek qiraxa platformê nêzîkî çavkaniyên germahiyê).
Pêvajoya piştî-kalîbrasyonê
Eger cudahiya rûtbûnê were dîtin (wek > ±1μm/m), divê ji hêla teknîsyenek pispor ve bi karanîna mîkro-toza W1.5 were hûrkirin û tamîrkirin. Xwe-hêrkirin bi kaxizê şmirgê bi tundî qedexe ye.
Piştî kalibrkirinê, divê daneyên werin tomar kirin û arşîv kirin, û divê xêzek kêmkirina rastbûna platformê were danîn da ku hewcedariyên lênêrînê ji pêş de werin pêşbînî kirin.
4. Depokirin û Veguhastin: Ji windabûna rastbûna veşartî dûr bisekinin
Xalên sereke ji bo parastina demdirêj
Dema hilanînê, divê bi bergirekî ku li hember şilbûn û tozê berxwedêr e were nixumandin. Ji bo pêşîgirtina li deformasyona xwarbûnê ya ji ber giraniyê (platformek 1 metreyî dikare ji ber piştgiriya yek-xalî ya demdirêj bi 0,3μm dakeve), divê binî bi sê xalan were piştgirîkirin (xala piştgirîyê li 2/9 dirêjahiya platformê ye).
Ji bo dûrketina ji zexta herêmî ya demdirêj, cihê xalên piştgiriya platformê bi rêkûpêk (mehane) biguherînin.
Plana parastina veguhastinê
Veguhestina mesafeya kurt: Bi kefek şok-mijîner veşêrin, di çarçoveyek hişk de rast bikin, û lezdanê di nav 2g de bihêlin.
Veguhestina dûr û dirêj: Pêdivî ye ku di valahiyê de were pakkirin û bi nîtrojena hişk were dagirtin. Piştî gihîştinê, divê 24 demjimêran were hiştin heta ku germahî bigihîje hevsengiyê berî vekirinê da ku pêşî li bandora ava kondensasyonê li ser rastbûnê were girtin.
5. Pêşbînîkirina Xeletiyan: Teknîkên ji bo Nasîna Pirsgirêkên Zû
Kontrolkirina dîtbarî: Bi çavikek mezinkirinê ya 40x bi rêkûpêk rûyê wê çavdêrî bikin. Ger xêzikên berdewam an kêmbûnek girîng di şewqê de werin dîtin, ev dibe ku kêmbûna rastbûnê nîşan bide.
Tesbîtkirina deng: Bi nermî li platformê bidin. Ger deng qerisî bibe (bi gelemperî divê dengek zelal be), dibe ku di hundur de şikestinên piçûk hebin. Tavilê dev ji karanîna wê ji bo tesbîtkirinê berdin.
Bi rêya vê sîstema lênêrînê, platforma granît a ZHHIMG® dikare 10 salan rûtbûnek ±1μm/m biparêze, ku ji temenê rastbûna platformên ku bi rêkûpêk nayên lênêrîn sê qat dirêjtir e. Pratîkê îspat kiriye ku piştî ku kargehek nîvconductor ev çareserî pejirand, pirbûna kalibrkirina platformê ji sedî 50 kêm bû, û lêçûna lênêrînê ya salane ji 150,000 yuanî zêdetir hate teserûfkirin.
Dema şandinê: 18ê Hezîrana 2025an