Materyal - Seramîk

♦Alumina(Al2O3)

Parçeyên seramîk ên rastîn ên ku ji hêla ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) ve têne hilberandin dikarin ji materyalên xav ên seramîk ên paqij-paqij, 92 ~ 97% alumina, 99,5% alumina, > 99,9% alumina, û zexta îsostatîkî ya sar CIP-ê bêne çêkirin.Sînterkirina germahiya bilind û makînekirina rast, rastbûna pîvanê ± 0.001 mm, nermbûn heya Ra0.1, germahiya heya 1600 pileyî bikar bînin.Rengên cûda yên seramîk dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar werin çêkirin, wek: reş, spî, bej, sorê tarî, hwd. ji bo demek dirêj di germahiya bilind, valahiya û hawîrdora gaza korozîf de tê bikar anîn.

Bi berfirehî di cûrbecûr alavên hilberîna nîvconductor de têne bikar anîn: Çarçove (benda seramîk), Substrat (bingeh), Arm/Pir (manipulator), , Pêkhateyên Mekanîkî û Hilgirtina Hewayê ya Seramîk.

AL2O3

Serîlêdana seramîkên alumina yên paqijiya bilind:
1. Ji bo alavên semiconductor sepandin: çuka valahiya seramîk, dîska birrîn, dîska paqijkirinê, CHUCK seramîk.
2. Parçeyên veguheztina wafer: çîpên hilgirtina wafer, dîskên qutkirina wafer, dîskên paqijkirina wafer, kûpên şûştinê yên vekolîna optîkî ya wafer.
3. Pîşesaziya pêşandana panelê ya LED / LCD: çîçek seramîk, dîska qirkirina seramîk, PIN LIFT, rêça PIN.
4. Têkiliya optîkî, pîşesaziya rojê: lûleyên seramîk, çîpên seramîk, scraperên seramîk ên çapkirina ekrana panelê.
5. Parçeyên germ-berxwedêr û elektrîkî: bearên seramîk.
Heya nuha, seramîkên oksîdê aluminium dikare li seramîkên paqijiya bilind û seramîkên hevpar were dabeş kirin.Rêzeya seramîkên oksîdê aluminiumê ya paqijiya bilind ji materyalê seramîk ku ji% 99,9 zêdetir Al2O3 tê de vedibêje.Ji ber ku germahiya wê ya hilgirtinê heya 1650 - 1990 ° C û dirêjahiya pêla veguheztina wê ya 1 ~ 6 μm, ew bi gelemperî li şûna xaçerêya platîn di nav cama yekbûyî de tê hilanîn: ku ji ber veguheztina ronahiyê û berxwedana korozyonê dikare wekî lûleya sodyûm were bikar anîn. metal alkali.Di pîşesaziya elektronîkî de, ew dikare wekî materyalê îzolekirinê ya bi frekansa bilind ji bo binerdeyên IC-ê were bikar anîn.Li gorî naverokên cihêreng ên oksîdê aluminiumê, rêzikên seramîk ên oksîdê aluminium-ê ya hevpar dikare li seramîkên 99, 95 seramîk, 90 seramîk û 85 seramîk were dabeş kirin.Carinan, seramîkên bi 80% an 75% oksîdê aluminiumê jî wekî rêzikên seramîk ên oksîdê aluminiumê yên hevpar têne dabeş kirin.Di nav wan de, 99 maddeya seramîk a oksîdê aluminiumê ji bo hilberandina tîrêjê germahiya bilind, lûleya firnê ya agirgir û materyalên taybetî yên berxwedêr, yên wekî bejna seramîk, morên seramîk û lewheyên valve têne bikar anîn.95 seramîkên aluminiumê bi giranî wekî parçeyek berxwedêr-berxwedêr a korozyonê tê bikar anîn.85 seramîk bi gelemperî di hin taybetmendiyan de tê tevlihev kirin, bi vî rengî performansa elektrîkê û hêza mekanîkî çêtir dike.Ew dikare molybdenum, niobium, tantalum û morên metal ên din bikar bîne, û hin jî wekî amûrên valahiya elektrîkê têne bikar anîn.

 

Tişta Kalîteyê (Nirxa Nûnertiyê) Navê hilberê AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Pêkhatina Kîmyewî Hilbera Hilberîna Hêsan a Kêm-Sotium H2O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Pir ken % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO2 % 0.03 0.03 0.03 0.03 0.02 0.04 0.04
Na₂O % 0.04 0.04 0.04 0.04 0.02 0.04 0.03
MgO* % - 0.11 0.05 0.05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Diametera Parçeyên Navîn (MT-3300, rêbaza analîza lazerê) μm 0.44 0.43 0.39 0.47 1.1 2.2 3
α Mezinahiya Crystal μm 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0.3 ~ 4 0.3 ~ 4
Damezrandina Density** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Tîrêjiya Sintering ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Rêjeya Kêmkirina Xeta Sinterê** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO di hesabkirina paqijiya Al2O3 de cih nagire.
* Ne toza pîvandinê 29.4MPa (300kg/cm²), germahiya ziravkirinê 1600°C ye.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO lê zêde bikin, tevlihevbûn pir xweş e, ji ber vê yekê ew ji seramîkên oksîdê aluminiumê re bi paqijiya ji 99% zêdetir tê sepandin.
AES-22S: Ji hêla danûstendina bilind a pêkhatinê û rêjeya kêmbûna kêmbûna xeta sinterkirinê ve tê destnîşan kirin, ew ji bo rijandina forma şemitandinê û hilberên din ên mezin ên bi rastbûna pîvanê ya pêwîst tê sepandin.
AES-23 / AES-31-03: Ew ji AES-22S xwedan dendika damezrandinê, tîxotropî û vîskozîtîyek kêmtir e.ya berê ji bo seramîkê tê bikar anîn lê ya paşîn wekî kêmkerê avê ji bo materyalên agirgirtinê tê bikar anîn û populerbûnê bi dest dixe.

♦ Taybetmendiyên Silicon Carbide (SiC).

Taybetmendiyên Giştî Paqijiya pêkhateyên sereke (wt%) 97
Reng Reş
Tûrbûn (g/cm³) 3.1
Girtina avê (%) 0
Taybetmendiyên Mekanîkî Hêza Flexural (MPa) 400
Modula ciwan (GPa) 400
Serhişkiya Vickers (GPa) 20
Taybetmendiyên Termal Germahiya herî zêde ya xebatê (°C) 1600
Rêjeya berfirehbûna termal RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Germbûna germê (W/m x K) 130 110
Berxwedana şoka termal ΔT (°C) 300
Taybetmendiyên Elektrîkê Berxwedana Volume 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektrîkê berdewam 10 GHz -
Windabûna dielektrîkê (x 10-4) -
Faktora Q (x 104) -
Voltaja têkçûna dîelektrîkê (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Silicon Nitride Seramîk

Mal Yekbûn Si₃N4
Rêbaza Sintering - Zexta Gazê Sintered
Density g/cm³ 3.22
Reng - Gewrê Tarî
Rêjeya Absorption Water % 0
Modulusa Ciwan Gpa 290
Serhişkiya Vickers Gpa 18-20
Hêza Pêkêşî Mpa 2200
Bending Strength Mpa 650
Têkiliya Termal W/mK 25
Berxwedana Şokê Termal Δ (°C) 450 - 650
Germahiya xebitandinê ya herî zêde °C 1200
Volume Resistivity Ω·cm > 10 ^ 14
Dielectric Constant - 8.2
Hêza Dielektrîkê kV/mm 16