Şoreşa Rastbûnê di çêkirina nîvconductoran de: Dema ku granit bi teknolojiya mîkronê re hevdîtin dike
1.1 Vedîtinên neçaverêkirî di zanista materyalan de
Li gorî rapora Komeleya Nîvconductor a Navneteweyî ya SEMI ya 2023an, %63ê kargehên pêşketî yên cîhanê dest bi karanîna bingehên granît li şûna platformên metal ên kevneşopî kirine. Ev kevirê xwezayî, ku ji kondensasyona magmayê ya kûr di Erdê de derdikeve, ji ber taybetmendiyên xwe yên fîzîkî yên bêhempa dîroka çêkirina nîvconductoran ji nû ve dinivîse:
Awantaja înertiya germî: katsayiya berfirehbûna germî ya granît 4.5×10⁻⁶/℃ tenê 1/5 ji ya polayê zengarnegir e, û aramiya pîvanî ya ±0.001mm di xebata domdar a makîneya lîtografiyê de tê parastin.
Taybetmendiyên şuştina lerzînê: katsayiya şuştina navxweyî 15 caran ji ya hesinê qalibkirî bilindtir e, bi bandor mîkro-lerzîna alavan vedigire.
Cewhera magnetîzasyona sifir: xeletiya magnetîkî di pîvandina lazerê de bi tevahî ji holê radike
1.2 Rêwîtiya metamorfozê ji ya min heta fabrîkê
Bi mînaka bingeha hilberîna jîr a ZHHIMG li Shandong, perçeyek ji granîta xav pêdivî bi van pêvajoyan heye:
Makînekirina ultra-rast: navenda makînekirina girêdana pênc-eksenî ji bo 200 demjimêran frezkirina domdar, hişkiya rûyê heta Ra0.008μm
Dermankirina pîrbûna sûnî: 48 demjimêran berdana stresê ya xwezayî di atolyeya germahî û şilbûna domdar de, ku aramiya hilberê bi% 40 baştir dike.
Duyemîn, şeş pirsgirêkên rastbûnê yên "çareseriya kevir" a çêkirina nîvconductor çareser bikin.
2.1 Pîlana kêmkirina rêjeya perçebûna waferê
Xwenîşandana dozê: Piştî ku kargeheke çîpan li Almanyayê platforma me ya granît a gazê ya li ser avê bikar tîne:
| Dirêjahiya waferê | kêmkirina rêjeya çîpê | başkirina rûtbûnê |
| 12 înç | %67 | ≤0.001mm |
| 18 înç | %82 | ≤0.0005mm |
2.2 Şêweya şikestina rastbûna hevrêzkirina lîtografîk
Sîstema tezmînata germahiyê: sensora seramîk a çêkirî guherbara şeklê di wextê rast de dişopîne û bixweber meyla platformê rast dike.
Daneyên pîvandî: di bin guherîna 28℃±5℃ de, rastbûna bicihkirinê ji 0.12μm kêmtir diguhere
Dema şandinê: 24ê Adarê, 2025