Di warên çêkirina rast û lêkolînên zanistî de, rûtbûna platformên rastbûna granît nîşaneyek sereke ye ji bo misogerkirina rastbûna alavan. Li jêr danasînek berfireh a çend rêbazên tespîtkirina sereke û prosedurên xebitandina wan ji bo we ye.
I. Rêbaza Tesbîtkirinê ya Interferometreya Lazerê
Înterferometreya lazerê amûra bijarte ye ji bo tespîtkirina rastbûna bilind a rûtbûnê. Înterferometreya lazerê ya ZYGO GPI XP wekî mînak bigirin, çareseriya wê dikare bigihîje 0.1nm. Dema ku tespît tê kirin, pêşî çavkaniya ronahiyê ya înterferometreyê bi platformê re hevrêz bikin û rûyê platformê li deverên torê yên 50mm×50mm dabeş bikin. Piştre, daneyên sînorên destwerdanê xal bi xal hatin berhevkirin, û daneyan bi karanîna polînomiyala Zernike hatin bicîhkirin û analîz kirin da ku xeletiya rûtbûnê were bidestxistin. Ev rêbaz ji bo platformên rastbûna bilind tê sepandin û dikare xeletiyên rûtbûnê yên ≤0.5μm/m² tespît bike. Ew bi gelemperî di tespîtkirina makîneyên fotolîtografiyê û platformên makîneyên pîvandina sê-koordînatên asta bilind de tê bikar anîn.
II. Rêbaza Asta Elektronîkî
Tesbîtkirina rêza asta elektronîkî hêsan e ku were bikar anîn û pir bikêrhatî ye. Asta elektronîkî ya TESA A2 (bi çareseriya 0.01μm/m) hate hilbijartin û di rêzek 9×9 de li ser rêça eksena X/Y ya platformê hate rêzkirin. Bi berhevkirina senkronîk a daneyên meyldariya her astê û dûv re bi karanîna rêbaza kêmtirîn çargoşe ji bo hesabkirinê, nirxa rûtbûnê dikare bi rastî were bidestxistin. Ev rêbaz dikare bi bandor şert û mercên konkavît û konveksîteya herêmî ya platformê nas bike. Mînakî, di nav rêzek 50 mm de guherînek 0.2μm jî dikare were tespît kirin, ku ji bo tespîtkirina bilez di hilberîna girseyî de guncan e.
Iii. Rêbaza krîstala deşt a optîkî
Rêbaza krîstala optîkî ya deşt ji bo tespîtkirina platformên rûbera piçûk guncaw e. Krîstala optîkî ya deşt bi hişkî li ser rûyê ku li ser platformê were ceribandin ve girêdin û di bin ronîkirina çavkaniyek ronahiyê ya yekreng (wek çirayek sodyûm) de, xêzên destwerdanê yên ku di navbera wan de çêdibin temaşe bikin. Ger xêz xêzên paralel û rast bin, ev nîşan dide ku xêzek baş e. Ger xêzên qurmiçî xuya bibin, xeletiya xêzkirinê li gorî pileya qurmiçîbûna xêzan hesab bikin. Her xêzek qurmiçî cudahiyek bilindahiyê ya 0.316μm temsîl dike, û daneyên xêzkirinê dikarin bi veguherîna hêsan werin bidestxistin.
Çar. Rêbaza Teftîşa Makîneya Pîvandinê ya Sê-koordînat
Makîneya pîvandinê ya sê-koordînatî dikare pîvandina rastbûna bilind di qada sê-alî de pêk bîne. Platforma granît li ser maseya xebatê ya makîneya pîvandinê deynin û probê bikar bînin da ku bi yekrengî daneyan ji gelek xalên pîvandinê yên li ser rûyê platformê berhev bikin. Sîstema makîneya pîvandinê van daneyan pêvajo dike û analîz dike da ku raporek li ser rûbera platformê çêbike. Ev rêbaz ne tenê dikare rûbera platformê tespît bike, lê di heman demê de parametreyên din ên geometrîkî yên platformê jî bi dest bixe, û ji bo tespîtkirina berfireh a platformên mezin ên granît guncaw e.
Serweriya van rêbazên tespîtkirinê dikare ji we re bibe alîkar ku hûn rastbûna platforma rastbûna granîtê binirxînin û garantiyek pêbawer ji bo xebata domdar a alavên rast peyda bikin.
Dema weşandinê: 29ê Gulana 2025an