Di warê çêkirina asta bilind û lêkolînên zanistî yên pêşketî de, modula tevgera ultra-rast a floata hewayê bi performansa xwe ya rastbûna hêja bûye amûrek sereke ji bo xebitandina baş û pîvandinê. Bingeha rastbûna granît, wekî bingeha piştgirîyê, ji bo jîngeha xebatê daxwazên hişk hene, û şert û mercên jîngehê yên guncaw bingeh in ku performansa wê ya sabît û bandora çêtirîn misoger bikin.
Pêşîn, kontrola germahiyê: "stabîlîzator" a rastîn
Her çend granit bi aramiya xwe tê nasîn jî, ew bi tevahî ji guherînên germahiyê bêpar nîne. Her çend katsayiya wê ya berfirehbûna germî kêm be jî, bi gelemperî 5-7 ×10⁻⁶/℃, di senaryoyên kontrola tevgera ultra-rast de, guherînên nerm ên germahiyê hîn jî dikarin bibin sedema guherînên pîvanî û bandorê li rastbûna modulê bikin. Di atolyeya çêkirina çîpa nîvconductor de, pêvajoya lîtografiyê rastbûna pozîsyonê ya asta danami hewce dike, û germahiya hawîrdorê bi 1°C diguhere, û bingeha granitê bi dirêjahiya alî 1 metre dikare berfirehbûnek xêzikî an girjbûnek 5-7 mîkronan çêbike. Ev guherîna piçûk ji hêla modula tevgera ultra-rast a floata hewayê ve tê veguheztin, ku têra xwe ye ku jihevketina şêweya lîtografiya çîpê çêbike û berhemê pir kêm bike. Ji ber vê yekê, bi modula tevgera ultra-rast a hewayî ya bi bingeha granîtê ya rastbûna granîtê ve hatî sazkirin, germahiya jîngeha xebatê ya îdeal divê li 20 °C ±1 °C were kontrol kirin, bi alîkariya alavên germahiya sabît ên rastbûna bilind, wekî pergala klîmayê ya germahî û şilbûna sabît, çavdêriya domdar û verastkirina germahiya hawîrdorê, da ku piştrast bike ku guherînên germahiyê di rêzek pir piçûk de ne, aramiya mezinahiya bingehê biparêze, da ku piştrast bike ku modul dixebite rastbûna bilind.
Duyemîn, rêveberiya şilbûnê: mifteya parastina nem-berxwedêr "kevir"
Şilî faktorek din a girîng e ku bandorê li ser performansa bingeha granîtê ya rast dike. Di hawîrdorek şilbûna bilind de, granît bi hêsanî buxara avê dikişîne, ku dibe ku li ser rûyê kondensasyonê çêbike, ku ne tenê bandorê li ser aramiya girêdana granîtê û modula tevgera ultra-rast a floata hewayê dike, lê di heman demê de dibe ku bibe sedema erozyona rûyê û di demek dirêj de şewq û rastbûnê kêm bike. Di atolyeya hûrkirina lensên optîkî de, heke şilî ji bo demek dirêj ji% 60 RH bilindtir be, buxara avê ya li ser rûyê bingeha granîtê tê kişandin dê mudaxeleyî tevgera şemitoka gazê bike, da ku rastbûna hûrkirina lensê kêm bibe, û rû xera bibe. Ji ber vê yekê, divê şilbûna nisbî ya hawîrdora xebatê bi tundî di navbera% 40-60 RH de were kontrol kirin, ku dikare di wextê rast de bi sazkirina dehumidifiker, sensorên şilbûnê û alavên din were şopandin û rast kirin da ku ji ber şilbûna bilind zirar negihêje bingeha granîtê, û xebata bêkêmasî ya modula tevgera ultra-rast a floata hewayê misoger bike.
Sêyemîn, garantiya paqijiyê: "parêzvanê" rastbûnê
Ziyana perçeyên tozê ji bo bingeha granîtî ya rast a modula tevgera ultra-rast a flotasyona hewayê nayê kêmkirin. Dema ku perçeyên piçûk dikevin valahiya fîlma gazê ya di navbera şemitoka gazê û bingeha granîtî de, ew dikarin yekrengiya fîlma gazê xera bikin, sürtûnê zêde bikin, û heta rûyê bingehê bixurînin, di encamê de rastbûna tevgerê kêm dibe. Di atolyeya makînekirina ultra-rast a parçeyên fezayî de, heke perçeyên tozê yên di hewayê de li ser bingeha granîtî bikevin, rêça tevgera amûra makînekirinê dikare were guheztin, ku bandorê li rastbûna makînekirina parçeyan bike. Ji ber vê yekê, divê qada xebatê pir paqij were girtin, bi riya sazkirina alavên paqijkirina hewayê, wekî fîlterên hewayê yên bi bandor (HEPA), bigihîje astên 10,000 an jî bilindtir ên standardên paqijiyê, di heman demê de, karmend hewce ne ku cilên bê toz, pêlavan û hwd. li xwe bikin, da ku toza ku ji hêla mirovan ve tê anîn kêm bikin. Jîngeha xebitandinê ya rastbûna bilind a bingeha granîtî û modula tevgera ultra-rast a flotasyona hewayê biparêzin.
Çar, îzolasyona lerzînê: xebata nerm a "şokê"
Lerizîna derve dijminê rastbûna modula tevgera ultra-rast a floata hewayî ye. Her çend bingeha granîtê ya rastbûnê xwedî şiyana kêmkirina lerizînê ya diyarkirî be jî, lerizîna bi hêza bilind hîn jî dikare sînorê wê yê tamponê bişkîne. Lerizîna ku ji hêla trafîka li dora kargehê û xebitandina alavên mekanîkî yên mezin ve çêdibe, bi rêya erdê ve digihîje bingeha granîtê, ku dê mudaxeleyî rastbûna tevgera modula tevgera ultra-rast a floata hewayî bike. Di CMM-ya asta bilind de, lerizîn dikare bibe sedema ku têkiliya di navbera proba pîvandinê û perçeya xebatê ya ku were pîvandin nearam be, ku di encamê de daneyên pîvandinê nelirê bibin. Ji bo çareserkirina vê pirsgirêkê, pêdivî ye ku tedbîrên îzolekirina lerizînê yên bi bandor werin girtin, wek danîna pêlavên îzolekirina lerizînê li qada sazkirina alavan, avakirina bingeha îzolekirina lerizînê, an karanîna pergala îzolekirina lerizîna çalak ji bo veguheztina çalak a lerizîna derveyî, û afirandina hawîrdorek xebatê ya bêdeng û aram ji bo bingeha rastbûna granîtê û modula tevgera ultra-rast a floata hewayî.
Tenê bi bicîhanîna tevahî ya pêdiviyên jîngehê yên germahî, şilbûn, paqijî û kontrola lerzînê, bingeha rastbûna granît a modula tevgera ultra-rast a floata hewayê dikare bi tevahî avantajên performansa xwe nîşan bide, garantiyek pêbawer ji bo operasyonên ultra-rast di warên cûrbecûr de peyda bike, û alîkariya pîşesaziyê bike ku ber bi astek hilberîn û lêkolîna zanistî ya rastbûnek bilindtir ve biçe.
Dema weşandinê: Nîsan-08-2025