Di warê çêkirina nîvconductoran de, wekî alavên bingehîn ên ku rastbûna pêvajoya çêkirina çîpê diyar dikin, aramiya jîngeha navxweyî ya makîneya fotolîtografiyê pir girîng e. Ji ajîtasyona çavkaniya ronahiya ultraviyole ya zêde bigire heya xebitandina platforma tevgera rastîn a nanopî, di her girêdanê de tu ferqek piçûk jî çênabe. Bingehên granîtê, bi rêze taybetmendiyên bêhempa, di misogerkirina xebata aram a makîneyên fotolîtografiyê û zêdekirina rastbûna fotolîtografiyê de avantajên bêhempa nîşan didin.
Performansa parastina elektromagnetîk a berbiçav
Hundirê makîneyeke fotolîtografiyê bi hawîrdoreke elektromanyetîk a tevlihev tije ye. Destwerdana elektromanyetîk (EMI) ya ku ji hêla pêkhateyên wekî çavkaniyên ronahiya ultraviyole ya tund, motorên ajotinê, û dabînkerên hêzê yên frekans-bilind ve çêdibe, heke bi bandor neyê kontrol kirin, dê bandorek cidî li ser performansa pêkhateyên elektronîkî yên rast û pergalên optîkî yên di nav alavan de bike. Mînakî, destwerdan dikare di şablonên fotolîtografiyê de bibe sedema cûdahiyên piçûk. Di pêvajoyên hilberînê yên pêşkeftî de, ev bes e ku bibe sedema girêdanên tranzîstorê yên xelet li ser çîpê, ku bi girîngî hilberîna çîpê kêm dike.
Granît madeyek ne-metalî ye û bi tena serê xwe elektrîkê naguhêze. Di nav materyalên metalî de, ji ber tevgera elektronên azad di hundir de, ti diyardeyek înduksîyona elektromanyetîk çênabe. Ev taybetmendî wê dike laşek parastinê ya elektromanyetîk a xwezayî, ku dikare bi bandor rêya veguhestina destwerdana elektromanyetîk a navxweyî asteng bike. Dema ku qada manyetîk a alternatîf a ku ji hêla çavkaniya destwerdana elektromanyetîk a derveyî ve hatî çêkirin ber bi bingeha granît ve belav dibe, ji ber ku granît ne-manyetîk e û nayê magnetîzekirin, zehmet e ku meriv qada manyetîk a alternatîf derbas bike, bi vî rengî pêkhateyên bingehîn ên makîneya fotolîtografiyê ya li ser bingehê hatî saz kirin, wekî sensorên rastbûn û cîhazên verastkirina lensên optîkî, ji bandora destwerdana elektromanyetîk diparêze û rastbûna veguhastina qalibê di dema pêvajoya fotolîtografiyê de misoger dike.
Lihevhatina valahiyê ya hêja
Ji ber ku ronahiya ultraviyole ya zêde (EUV) ji hêla hemî madeyan ve, tevî hewayê, bi hêsanî tê kişandin, makîneyên lîtografiya EUV divê di hawîrdorek valahiyê de bixebitin. Di vê nuqteyê de, lihevhatina pêkhateyên alavan bi hawîrdora valahiyê re bi taybetî girîng dibe. Di valahiyê de, materyal dikarin bihelin, desorb bikin û gazê berdin. Gaza berdayî ne tenê ronahiya EUV dikişîne, şiddet û karîgeriya veguhastina ronahiyê kêm dike, lê di heman demê de dikare lensên optîkî jî qirêj bike. Mînakî, buxara avê dikare lensan oksîde bike, û hîdrokarbon dikarin tebeqeyên karbonê li ser lensan deynin, ku bandorek cidî li ser kalîteya lîtografiyê dike.
Granît xwedî taybetmendiyên kîmyewî yên sabît e û di hawîrdorek valahiyê de gazê hema hema bernade. Li gorî ceribandinên pisporan, di hawîrdorek valahiyê ya makîneya fotolîtografiyê ya simulasyonkirî de (wek hawîrdora valahiyê ya pir paqij ku pergala optîkî ya ronîkirinê û pergala optîkî ya wênekirinê di odeya sereke de cih digirin, ku hewce dike H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), rêjeya derxistina gazê ya bingeha granîtê pir kêm e, ji ya materyalên din ên wekî metalan pir kêmtir e. Ev dihêle ku hundurê makîneya fotolîtografiyê pileya valahiyê û paqijiyek bilind ji bo demek dirêj biparêze, veguhestina bilind a ronahiya EUV di dema veguhestinê de û hawîrdorek karanîna pir paqij ji bo lensên optîkî misoger dike, temenê karûbarê pergala optîkî dirêj dike, û performansa giştî ya makîneya fotolîtografiyê zêde dike.
Berxwedana lerizînê ya bihêz û aramiya germî
Di dema pêvajoya fotolîtografiyê de, rastbûna di asta nanometreyê de hewce dike ku makîneya fotolîtografiyê divê lerzînek an deformasyona germî ya herî piçûk jî nebe. Lerzînên hawîrdorê yên ku ji hêla xebitandina alavên din û tevgera personelê di atolyeyê de çêdibin, û her weha germahiya ku ji hêla makîneya fotolîtografiyê bixwe ve di dema xebitandinê de çêdibe, dikarin hemî bi rastbûna fotolîtografiyê re mudaxele bikin. Granît xwedî dendikek bilind û tekstûrek hişk e, û berxwedana wê ya li hember lerzînê pir baş e. Avahiya wê ya krîstala mîneral a navxweyî kompakt e, ku dikare bi bandor enerjiya lerzînê kêm bike û belavbûna lerzînê bi lez tepeser bike. Daneyên ceribandinê nîşan didin ku di bin heman çavkaniya lerzînê de, bingeha granîtê dikare di nav 0,5 saniyan de amplîtuda lerzînê ji% 90 zêdetir kêm bike. Li gorî bingeha metalî, ew dikare alavan zûtir vegerîne aramiyê, pozîsyona nisbî ya rast di navbera lensa fotolîtografiyê û waferê de misoger bike, û ji nezelalbûna şêwazê an jî nelihevkirina ji ber lerzînê dûr bisekine.
Di heman demê de, katsayiya berfirehbûna germî ya granît pir kêm e, bi qasî (4-8) ×10⁻⁶/℃, ku ji ya materyalên metalî pir kêmtir e. Di dema xebitandina makîneya fotolîtografiyê de, her çend germahiya navxweyî ji ber faktorên wekî hilberîna germê ji çavkaniya ronahiyê û xişandina ji pêkhateyên mekanîkî biguhere jî, bingeha granît dikare aramiya pîvanî biparêze û ji ber berfirehbûn û girjbûna germî deformasyonek girîng derbas nake. Ew piştgiriyek aram û pêbawer ji bo pergala optîkî û platforma tevgera rastîn peyda dike, û hevgirtina rastbûna fotolîtografiyê diparêze.
Dema weşandinê: 20ê Gulana 2025an