Di çêkirina nîvconductoran de, makîneya fotolîtografiyê amûrek sereke ye ku rastbûna çîpan diyar dike, û bingeha granît, bi taybetmendiyên xwe yên piralî, bûye pêkhateyek girîng a makîneya fotolîtografiyê.
Aramiya germî: "Mertal" li dijî Guhertinên Germahîyê
Dema makîneyeke fotolîtografiyê dixebite, ew gelek germê çêdike. Heta guherîna germahiyê ya tenê 0.1℃ jî dikare bibe sedema deformasyona pêkhateyên alavan û bandorê li rastbûna fotolîtografiyê bike. Koefîsyenta berfirehbûna germî ya granît pir kêm e, tenê 4-8 ×10⁻⁶/℃, ku bi qasî 1/3 ya pola û 1/5 ya alloya aluminiumê ye. Ev yek dihêle ku bingeha granît dema ku makîneya fotolîtografiyê demek dirêj dixebite an jî germahiya hawîrdorê diguhere, aramiya pîvanan biparêze, û bi vî awayî bicihkirina rast a pêkhateyên optîkî û avahiyên mekanîkî misoger dike.
Performansa dijî-lerzînê ya super: "Sînfeng"a ku lerzînê vedimijîne
Di kargeheke nîvconductoran de, xebitandina alavên derdorê û tevgera mirovan hemî dikarin lerizînan çêbikin. Granît xwedî densiteyek bilind û tevnurek hişk e, û taybetmendiyên şilbûnê yên pir baş hene, bi rêjeyek şilbûnê 2 heta 5 caran ji ya metalan. Dema ku lerizînên derveyî têne veguheztin bingeha granîtê, xişandina di navbera krîstalên mîneral ên navxweyî de enerjiya lerizînê vediguherîne enerjiya germê ji bo belavkirinê, ku dikare lerizînê di demek kurt de bi girîngî kêm bike, dihêle ku makîneya fotolîtografiyê zû aramiyê vegerîne û ji nezelalbûn an jî nelihevhatina qaliba fotolîtografiyê ji ber lerizînê dûr bisekine.
Aramiya kîmyewî: "Parêzvanê" Jîngeheke Paqij
Hundirê makîneya fotolîtografiyê bi cûrbecûr medyayên kîmyewî re dikeve têkiliyê, û materyalên metal ên asayî meyldarê korozyonê an berdana perçeyan in. Granît ji mîneralên wekî kuartz û feldspat pêk tê. Taybetmendiyên kîmyewî yên wê yên sabît û berxwedana wê ya xurt li hember korozyonê hene. Piştî ku di çareseriyên asîd û alkalî de tê şilkirin, korozyona rûyê wê pir piçûk e. Di heman demê de, avahiya wê ya qelew hema hema bermahî an toz çênake, pêdiviyên standardên herî bilind ên odeyên paqij bicîh tîne û xetera qirêjbûna waferê kêm dike.
Lihevhatina pêvajoyê: "Materyalê îdeal" ji bo afirandina pîvanên rast
Pêkhateyên bingehîn ên makîneya fotolîtografiyê pêdivî ye ku li ser rûyek referansê ya rastbûna bilind werin sazkirin. Avahiya navxweyî ya granîtê yekreng e û bi rêya hûrkirin, cilkirin û teknîkên din bi hêsanî dikare bi rastbûnek pir bilind were hilberandin. Rûtbûna wê dikare bigihîje ≤0.5μm/m, û hişkbûna rûyê wê Ra ≤0.05μm e, ku bingehek sazkirinê ya rast ji bo pêkhateyên wekî lensên optîkî peyda dike.
Temenê dirêj û bê lênêrîn: "Amûrên tûj" ji bo kêmkirina lêçûnan
Li gorî materyalên metalî yên ku di dema karanîna demdirêj de meyldarê westandin û şikestinê ne, granit di bin barên normal de bi zorê deformasyona plastîk an şikestinê derbas dike, û pêdivî bi dermankirina rûyê nake, bi vî rengî xetera qelişîna pêçanê û qirêjbûnê kêm dibe. Di sepanên pratîkî de, piştî ku bi salan tê bikar anîn, nîşaneyên performansa sereke yên bingeha granit hîn jî dikarin sabît bimînin, û lêçûnên xebitandin û lênêrînê yên alavan kêm bikin.
Ji aramiya germî bigire heta berxwedana li hember lerizînê bigire heta bêçalaktiya kîmyewî, taybetmendiyên piralî yên bingeha granît bi tevahî pêdiviyên makîneya fotolîtografiyê pêk tînin. Her ku pêvajoya çêkirina çîpê ber bi rastbûna bilindtir ve diçe, bingehên granît dê di warê çêkirina nîvconductoran de roleke bêhempa bilîzin.
Dema weşandinê: 20ê Gulana 2025an