Li atolyeya çêkirina nîvconductoran, pêdiviyên pêvajoya çêkirina çîpan ji bo şert û mercên hawîrdorê û rastbûna alavan pir zêde ne, û her guherînek piçûk dikare bibe sedema kêmbûnek girîng di berhema çîpê de. Platforma tevgera gantryê ya rastîn a XYZT ji bo hevkariyê bi beşên din ên platformê re pişta xwe dide pêkhateyên granît da ku bingehek zexm ji bo bidestxistina rastbûna nanopîvan ava bike.
Taybetmendiyên astengkirina lerizînê yên hêja
Di atolyeya çêkirina nîvconductoran de, xebitandina alavên periferîk û personelên ku li dora xwe digerin dibe sedema lerizînê. Avahiya navxweyî ya pêkhateyên granît tîr û yekreng e, bi taybetmendiyên şilbûna xwezayî yên bilind, mîna "astengiyek lerizînê" ya bi bandor. Dema ku lerizîna derveyî ji platforma XYZT re tê veguheztin, pêkhateya granît dikare bi bandor ji% 80 zêdetir enerjiya lerizînê kêm bike û destwerdana lerizînê li ser rastbûna tevgera platformê kêm bike. Di heman demê de, platform bi pergala rêberiya herikîna hewayê ya rastbûna bilind ve hatî çêkirin, ku bi pêkhateyên granît re dixebite. Rêberiya herikîna hewayê fîlima gazê ya stabîl a ku ji hêla gaza zexta bilind ve hatî çêkirin bikar tîne da ku tevgera daliqandina bêtemas a beşên tevger ên platformê pêk bîne û lerizîna piçûk a ji ber xişandina mekanîkî kêm bike. Bi hev re, her duyan piştrast dikin ku rastbûna pozîsyona platformê her gav di pêvajoyên sereke de wekî lîtografiya çîpê û gravurkirinê di asta nanometre de tê parastin, û ji xeletiya şablonên devreyên çîpê yên ji ber lerizînê dûr dikevin.
Stabîlîteya germî ya hêja
Guherîna germahî û şilbûnê di atolyeyê de bandorek mezin li ser rastbûna alavên çêkirina çîpan dike. Koefîsyenta berfirehbûna germî ya granîtê pir kêm e, bi gelemperî di 5-7 ×10⁻⁶/℃ de ye, dema ku germahî diguhere mezinahî hema hema neguherî ye. Her çend cûdahiya germahiyê di navbera roj û şevê de di atolyeyê de an jî hilberîna germê ya alavan bibe sedema guherîna germahiya hawîrdorê jî, pêkhateyên granîtê dikarin sabît bimînin da ku pêşî li deformasyona platformê ji ber berfirehbûn û girjbûna germî bigirin. Di heman demê de, pergala kontrola germahiyê ya jîr a bi platformê re germahiya hawîrdorê di wextê rast de dişopîne, bixweber alavên klîmayê û belavkirina germê rast dike, û germahiya atolyeyê li 20 °C ±1 °C diparêze. Digel avantajên aramiya germahiya granîtê, piştrast dike ku platform di xebata demdirêj de, rastbûna tevgera her eksena her gav li gorî standardên rastbûna nanometreya çêkirina çîpê ye, da ku piştrast bike ku mezinahiya şêweya lîtografiya çîpê rast e, kûrahiya gravurkirinê yekreng e.
Pêdiviyên jîngehek paqij bicîh bînin
Ji bo ku toz nekeve nav çîpê, atolyeya çêkirina nîvconductoran pêdivî bi paqijiyek bilind heye. Materyalê granit bi xwe toz çênake, û rûyê wê nerm e, toz bi hêsanî nayê kişandin. Platform bi tevahî sêwirana avahiyek bi tevahî girtî an nîv-girtî qebûl dike da ku ketina toza derve kêm bike. Sîstema gerandina hewaya navxweyî bi sîstema klîmayê ya paqij a atolyeyê ve girêdayî ye da ku paqijiya hewaya navxweyî bigihîje asta ku ji hêla çêkirina çîpê ve tê xwestin. Di vê jîngeha paqij de, pêkhateyên granit ji ber erozyona tozê bandorê li performansê nakin, û pêkhateyên sereke yên wekî sensor û motorên rastbûna bilind ên platformê jî dikarin bi aramî bixebitin, garantiya rastbûna nanopî ya domdar û pêbawer ji bo çêkirina çîpê peyda bikin, û alîkariya pîşesaziya nîvconductor bikin ku biçe astek pêvajoyek bilindtir.
Dema weşandinê: 14ê Nîsanê, 2025