Di warê vekolîna waferên nîvconductor de, paqijiya jîngeha odeya paqij rasterast bi hilberîna hilberê ve girêdayî ye. Her ku rastbûna pêvajoyên çêkirina çîpan berdewam dike baştir dibe, pêdiviyên ji bo platformên hilgirtinê yên alavên tespîtkirinê her ku diçe hişktir dibin. Platformên granît, bi taybetmendiyên xwe yên sifir berdana îyonên metal û qirêjiya kêm a perçeyan, ji materyalên pola yên zengarnegir ên kevneşopî derbas bûne û bûne çareseriya bijarte ji bo alavên vekolîna wafer.
Granît kevirêkî xwezayî yê agirîn e ku bi giranî ji mîneralên ne-metalîk ên wekî kuartz, feldspat û mîkayê pêk tê. Ev taybetmendî dide wê avantaja berdana îyonên metal ên sifir. Berevajî vê, pola zengarnegir, wekî alloyek ji metalên wekî hesin, krom û nîkel, ji ber xişandina buxara avê û gazên asîdî an alkalîn di hawîrdorek odeya paqij de, li ser rûyê xwe meyldarê korozyona elektroşîmyayî ye, ku di encamê de îyonên metal ên wekî Fe²⁺ û Cr³⁺ dibarin. Dema ku ev îyonên piçûk li ser rûyê waferê ve girêdidin, ew ê di pêvajoyên paşîn de wekî fotolîtografî û gravurkirinê taybetmendiyên elektrîkê yên materyalê nîvconductor biguherînin, bibin sedema guheztina voltaja eşikê ya tranzîstorê, û tewra bibin sedema kurteçûnên di nav çerxê de. Daneyên ceribandina saziyên profesyonel nîşan didin ku piştî ku platforma granît bi berdewamî ji bo 1000 demjimêran bi germahî û şilbûna odeya paqij a simulasyonkirî (23±0.5℃, 45%±5% RH) re rû bi rû ma, berdana îyonên metal ji sînorê tespîtkirinê kêmtir bû (< 0.1ppb). Rêjeya kêmasiyên waferan ên ku ji ber gemarîbûna îyonên metalî dema ku platformên pola zengarnegir têne bikar anîn, dikare bi qasî %15 û %20 be.
Ji aliyê kontrolkirina qirêjbûna perçeyan ve, platformên granît jî performansek pir baş nîşan didin. Odeyên paqij ji bo rêjeya perçeyên daliqandî yên di hewayê de daxwazên pir zêde hene. Mînakî, di odeyên paqij ên ISO Class 1 de, hejmara perçeyên 0.1μm yên destûrdayî di her metrekupek de ji 10 derbas nabe. Her çend platforma pola zengarnegir dermankirina cilkirinê derbas kiribe jî, ew hîn jî dikare bermahiyên metal an jî qelpên oksîdê ji ber hêzên derveyî yên wekî lerizîna alavan û xebitandina personel çêbike, ku dikarin rêça optîkî ya tespîtkirinê asteng bikin an jî rûyê waferê bixurînin. Platformên granît, bi avahiya xwe ya mîneralî ya zirav (densite ≥2.7g/cm³) û hişkiya xwe ya bilind (6-7 li ser pîvana Mohs), di dema karanîna demdirêj de ne meyla aşînê an şikestinê ne. Pîvandinên pîvandî nîşan didin ku ew dikarin rêjeya perçeyên daliqandî di hewaya qada alavên tespîtkirinê de ji %40 zêdetir li gorî platformên pola zengarnegir kêm bikin, bi bandor standardên pola odeya paqij biparêzin.
Ji bilî taybetmendiyên xwe yên paqij, performansa berfireh a platformên granît ji ya pola zengarnegir pir zêdetir e. Di warê aramiya germî de, katsayiya berfirehbûna germî ya wê tenê (4-8) ×10⁻⁶/℃ ye, ji nîvê pola zengarnegir kêmtir e (nêzîkî 17×10⁻⁶/℃), ku dikare rastbûna bicihkirina alavên tespîtkirinê çêtir biparêze dema ku germahiya di odeya paqij de diguhere. Taybetmendiya şilbûna bilind (rêjeya şilbûnê > 0.05) dikare bi lez lerizîna alavan kêm bike û rê li ber lerizîna sonda tespîtkirinê bigire. Berxwedana wê ya xwezayî ya korozyonê dihêle ku ew aram bimîne tewra dema ku bi çareserkerên fotoresîst, gazên gravurkirinê û kîmyewiyên din re rû bi rû bimîne bêyî ku hewcedariya parastina pêçandina zêde hebe.
Niha, platformên granît di kargehên hilberîna waferên pêşketî de bi berfirehî têne bikar anîn. Daneyên nîşan didin ku piştî pejirandina platforma granît, rêjeya şaş a tespîtkirina perçeyên rûyê waferê %60 kêm bûye, çerxa kalibrkirina alavan sê caran dirêj bûye, û lêçûna hilberînê ya giştî %25 kêm bûye. Her ku pîşesaziya nîvconductor ber bi rastbûnek bilindtir ve diçe, platformên granît, bi avantajên xwe yên bingehîn ên wekî sifir berdana îyonên metal û qirêjiya kêm a perçeyan, dê berdewam bikin ku piştgiriyek domdar û pêbawer ji bo vekolîna waferê peyda bikin, û bibin hêzek girîng ku pêşveçûna pîşesaziyê dimeşîne.
Dema weşandinê: 20ê Gulana 2025an