Di warên wekî çêkirina nîvconductor û amûrên pîvandina rast de, rastbûna platformên rastbûna granît rasterast kalîteya xebitandinê ya alavan diyar dike. Ji bo ku rastbûna platformê li gorî standardan be, divê hewl ji du aliyan ve were dayîn: tespîtkirina nîşaneyên sereke û pabendbûna bi normên standard re.
Tesbîtkirina nîşana bingehîn: Kontrola pir-alî ya rastbûnê
Tesbîtkirina rûtbûnê: Destnîşankirina "rûtbûna" rûtîna referansê
Rûtbûn nîşana bingehîn a platformên rastbûna granît e, û bi gelemperî bi interferometreyên lazer an asta elektronîkî tê pîvandin. Interferometreya lazer dikare bi derxistina tîrêjek lazer û bi karanîna prensîba destwerdana ronahiyê, bi rastbûnek ku digihîje asta bin-mîkron, pêlên piçûk ên li ser rûyê platformê bi awayekî rast bipîve. Asta elektronîkî bi gelek caran tevgerînê dipîve û nexşeyek kontûrê ya sê-alî ya rûyê platformê xêz dike da ku tespît bike ka derketin an çalên herêmî hene. Mînakî, platformên granît ên ku di makîneyên fotolîtografiya nîvconductor de têne bikar anîn divê rûtbûnek ±0.5μm/m hebe, ev tê vê wateyê ku cûdahiya bilindahiyê di nav dirêjahiya 1 metreyî de divê ji nîv mîkrometreyê derbas nebe. Tenê bi alavên tespîtkirina rastbûna bilind ev standarda hişk dikare were misoger kirin.
2. Tesbîtkirina rastbûnê: "Rastbûna" tevgera xêzikî misoger bikin
Ji bo platformên ku perçeyên tevger ên rast hildigirin, rastbûn pir girîng e. Rêbazên hevpar ên tespîtkirinê rêbaza têl an jî kolîmatorê lazerê ne. Rêbaza têl têlên pola yên rastbûna bilind daliqandî û berawirdkirina valahiya di navbera rûyê platformê û têlên pola de ji bo destnîşankirina rastbûnê vedihewîne. Kolîmatorê lazerê taybetmendiyên belavbûna xêzikî ya lazerê bikar tîne da ku xeletiya xêzikî ya rûyê sazkirinê yê rêhesina rêber a platformê tespît bike. Ger rastbûn li gorî standardê nebe, ew ê bibe sedema ku alav di dema tevgerê de bizivirin, ku bandorê li rastbûna pêvajo an pîvandinê dike.
3. Tesbîtkirina hişkbûna rûyê: "Tenêbûna" têkiliyê misoger bikin
Hişkbûna rûyê platformê bandorê li ser guncawbûna sazkirina pêkhateyan dike. Bi gelemperî, pîvanek hişkbûna stîlusê an mîkroskopek optîkî ji bo tespîtkirinê tê bikar anîn. Amûra celebê stîlusê guhertinên bilindahiya profîla mîkroskopîk bi têkiliya rûyê platformê bi probeyek nazik tomar dike. Mîkroskopên optîkî dikarin rasterast tevnê rûyê çavdêrî bikin. Di sepanên rastbûna bilind de, hişkbûna rûyê platformên granît hewce ye ku li Ra≤0.05μm were kontrol kirin, ku ev yek wekhevî bandorek mîna neynikê ye, ku piştrast dike ku pêkhateyên rast di dema sazkirinê de bi hişkî li hev dicivin û ji lerizîn an jî veguheztina ji ber valahiyan dûr dikevin.
Standardên rastbûnê wiha ne: normên navneteweyî û kontrola navxweyî ya pargîdaniyê
Niha, li ser asta navneteweyî, standardên ISO 25178 û GB/T 24632 bi gelemperî wekî bingehek ji bo destnîşankirina rastbûna platformên granît têne bikar anîn, û ji bo nîşaneyên wekî rûtbûn û rasterastbûnê dabeşkirinên zelal hene. Wekî din, pargîdaniyên hilberînê yên asta bilind pir caran standardên kontrola navxweyî yên hişktir destnîşan dikin. Mînakî, pêdiviya rûtbûnê ji bo platforma granît a makîneya fotolîtografiyê %30 ji standarda navneteweyî bilindtir e. Dema ku ceribandin têne kirin, divê daneyên pîvandî bi standardên têkildar re werin berhev kirin. Tenê platformên ku bi tevahî li gorî standardan in dikarin performansa stabîl di alavên rast de misoger bikin.
Kontrolkirina rastbûna platformên rastbûna granît projeyek sîstematîk e. Tenê bi ceribandina hişk a nîşaneyên bingehîn ên wekî rûtbûn, rasterastbûn û hişkbûna rûyê erdê, û pabendbûna bi standardên navneteweyî û pargîdaniyê, dikare rastbûn û pêbaweriya bilind a platformê were garantîkirin, û bingehek zexm ji bo qadên hilberîna asta bilind ên wekî nîvconductors û amûrên rastbûnê were danîn.
Dema weşandinê: 21ê Gulana 2025an