Materyalên granît ji ber taybetmendiyên xwe yên hêja, wekî îstîqrara bilind, berfirehbûna germî ya kêm, û berxwedana bilind a li hember korozyonê, bi berfirehî di pîşesaziya nîvconductor de têne bikar anîn.Van taybetmendiyan granît dike materyalek îdeal ji bo avakirina hêmanên pêbawer ên di pergalek veguheztina wafer de.
Di pêvajoya çêkirina nîvconductor de, pergala veguheztina waferê di veguheztina waferan de li qonaxên cihêreng ên pêvajoya çêkirinê de rolek girîng dilîze.Rastbûn û rastbûn ji bo van pergalan hewcedariyên bingehîn in ji ber ku guheztinên sivik jî dikarin tevahiya pêvajoyê bixe xetereyê.Ji ber vê yekê, hêmanên di pergala veguheztina waferê de divê ji materyalên kalîteyê werin çêkirin, û granît van pîvanan pêk tîne.
Hin beşên pergala veguheztina waferê ku ji materyalên granît têne çêkirin ev in:
1. Vacuum Chuck Table
Tabloya çuçikê ya valahiya ji bo girtina waferê di dema pêvajoyê de tê bikar anîn, û pêdivî ye ku rûyek aram hebe da ku pê ewle nebe ku wafer zirarê nade.Granît ji bo çêkirina vê tabloyê materyalek îdeal e ji ber ku rûyek wê ya safî, ne-poroz heye ku aramî û rastbûna bilind peyda dike.Wekî din, granît xwedan rêjeyek kêm a berfirehbûna germî ye, ku ew li hember guherînên germahiyê yên ku dikarin bibin sedema guheztinên dimensî yên di waferê de berxwedêr dike.
2. Qonaxa Hilgirtina Hewayê
Qonaxa hilgirtina hewayê ji bo veguheztina waferê di qonaxên cihêreng ên pêvajoya çêkirinê de tê bikar anîn.Qonax ji bo peydakirina tevgerek bêserûber hatî çêkirin, ku pêdivî bi rastbûn û aramiya bilind heye.Granît di vê serîlêdanê de tête bikar anîn ji ber ku ew kevirek hişk û hişk e, û ew bi demê re li hember deformasyon û xişandinê radiweste.
3. Rêberên Tevgera Linear
Rêbernameyên tevgera xêzkirî ji bo rêvekirina qonaxa hilgirtina hewayê têne bikar anîn, û divê ew bi duristî bêne cîh kirin da ku xeletiyan kêm bikin.Granit ji bo avakirina vê rêbernameyê tê bikar anîn ji ber ku ew xwedan aramî û hêza mekanîkî ya hêja ye.Materyal di heman demê de berxwedêr-berxwedêr e, ku dirêjahiya pergala rêberiyê misoger dike.
4. Amûrên metrolojî
Amûrên metrolojiyê ji bo pîvandina pîvan û taybetmendiyên waferê di dema pêvajoya çêkirinê de têne bikar anîn.Granît ji bo avakirina vê amûreyê materyalek îdeal e ji ber ku di bin barkirinê de xwedan hişkbûna bilind, berfirehbûna kêm, û deformasyona hindiktirîn e.Digel vê yekê, aramiya germî ya granît piştrast dike ku alavên metrolojiyê bi demê re sabît û rast bimîne.
Di encamê de, pîşesaziya nîvconductor xwe dispêre rastbûn û rastbûnê, û materyalên granît îsbat kirine ku di pêvajoya çêkirinê de pir pêbawer û domdar in.Digel gelek hêmanên krîtîk ên di pergala veguheztina waferê de ku hewceyê aramî, rastbûn û berfirehbûna germî ya kêm e, endezyaran berê xwe dane materyalên granît da ku van daxwazên krîtîk bicîh bînin.
Dema şandinê: Mar-19-2024