Di zincîra rast a çêkirina nîvconductoran de, sîstema veguhastina waferê mîna "xeta jiyanê ya xeta hilberîna çîpê" ye, û aramî û rastbûna wê rasterast rêjeya berhemdariya çîpan diyar dike. Nifşa nû ya sîstemên veguhastina waferê bi şoreşgerî motorên xêzikî bi bingehên granît re dike yek, û avantajên bêhempa yên materyalên granît tam koda bingehîn e ji bo vekirina veguhastina performansa bilind.
Bingeha granît: Avakirina "bingehek zexm wekî kevir" ji bo veguhestina stabîl
Granît, ku bi sedan mîlyon salan ji rafineriya jeolojîk derbas bûye, xwedan krîstalîzasyona mîneral a navxweyî ya tîr û yekreng e. Ev taybetmendiya xwezayî wê dike materyalek bingehîn a îdeal ji bo pergalên veguhastina wafer. Di hawîrdora tevlihev a odeyên paqij ên nîvconductor de, granît, bi koefîsyenta xwe ya pir nizm a berfirehbûna germî (tenê 5-7 ×10⁻⁶/℃), dikare li hember germahiya ku di dema xebitandina alavan de çêdibe û bandora guherînên germahiya hawîrdorê bisekine, aramiya mezinahiya bingehîn misoger bike û ji guherîna rêya veguhastinê ya ji ber deformasyona germî dûr bisekine. Performansa wê ya berbiçav a kêmkirina lerzînê dikare lerzînên mekanîkî yên ku di dema destpêkirin, girtinê û lezandina motorên xêzik de çêdibin, û her weha destwerdanên derveyî yên ku ji hêla xebitandina alavên din ên di atolyeyê de têne anîn, bi lez veşêre, platformek stabîl bi "lerzîna sifir" ji bo veguhastina wafer peyda bike.
Di heman demê de, aramiya kîmyewî ya granît piştrast dike ku ew di atolyeyên nîvconductor de ku reagentên asîd û alkalî diguherin û paqijiyek bilind hewce ye, korozyon û zengar nake, bi vî rengî bandora li ser rastbûna veguhastinê ji ber pîrbûna materyalê an adsorpsiyona gemarî dûr dikeve. Taybetmendiyên rûyê nerm û tîr dikarin bi bandortir zeliqandina tozê kêm bikin, standardên hişk ên bê toz ên odeyên paqij bicîh bînin û xetera qirêjbûna waferê ji kokê ve ji holê rakin.
Bandora "hevkariya zêrîn" a motorên xêzik û granît
Motorên xêzikî, bi taybetmendiyên xwe yên bê paqijiya veguhestina mekanîkî, lezandina bilind û leza bersivdayînê ya bilind, veguhestina wafer bi avantajên "lez, rast û aram" didin. Bingeha granît platformek piştgirî ya zexm û pêbawer ji bo wê peyda dike. Herdu bi hev re dixebitin da ku di performansê de pêşveçûnek çêbikin. Dema ku motora xêzikî hilgirê waferê dixebitîne ku li ser rêça bingeha granît bimeşe, hişkbûn û aramiya xurt a bingehê veguhestina bi bandor a hêza ajotina motorê misoger dike, û ji windabûna hêzê an jî derengketina veguhestinê ya ji ber deformasyona bingehê dûr dikeve.
Bi daxwaza rastbûna nanopîvanê, motorên xêzik dikarin kontrola cihguherînê ya asta bin-mîkron bi dest bixin. Taybetmendiyên pêvajoya rastbûna bilind ên bingehên granît (bi xeletiyên rûtbûnê yên ku di nav ±1μm de têne kontrol kirin) bi tevahî bi kontrola rast a motorên xêzik re li hev dikin, bi hev re piştrast dikin ku xeletiya pozîsyonê di dema veguhestina waferê de ji ±5μm kêmtir e. Çi veguhestina bilez di navbera alavên pêvajoyê yên cûrbecûr de be, çi jî parkkirina rast ji bo radestkirina waferê be, tevliheviya motorên xêzik û bingehên granît dikare "sifir devîasyon û sifir lerizîn" di veguhestina waferê de misoger bike.
Verastkirina pratîka pîşesaziyê: Başbûna dualî di karîgerî û rêjeya berhemdariyê de
Piştî nûjenkirina sîstema veguhestina waferê, pargîdaniyek pêşeng a nîvconductor a cîhanî çareseriyek motora xêzik + bingeha granît pejirand, ku karîgeriya veguhestina waferê %40 zêde kir, rêjeya çêbûna xeletiyên wekî pevçûn û offset di dema pêvajoya veguhestinê de %85 kêm kir, û rêjeya hilberîna giştî ya çîpan %6 baştir kir. Li pişt daneyan garantiya aramiya veguhestinê ya ku ji hêla bingeha granît ve tê peyda kirin û bandora sinerjiya bilez û rast a motora xêzik heye, ku windahî û xeletiyê di pêvajoya veguhestina waferê de bi girîngî kêm dike.
Ji taybetmendiyên materyalan bigire heya çêkirina rast, ji avantajên performansê bigire heya verastkirina pratîkî, têkeliya motorên xêzik û bingehên granît standardên pergalên veguhastina wafer ji nû ve pênase kiriye. Di pêşerojê de, dema ku teknolojiya nîvconductor ber bi pêvajoyên 3nm û 2nm ve bi pêş ve biçe, materyalên granît bê guman dê bi avantajên xwe yên bêhempa pêşvebirina xurt bidin pêşkeftina pîşesaziyê.
Dema weşandinê: 14ê Gulana 2025an