Di pîşesaziya nîvconductoran de, vekolîna waferê ji bo misogerkirina kalîte û performansa çîpê girêdanek sereke ye, û rastbûn û aramiya maseya vekolînê di encamên tespîtkirinê de rolek diyarker dilîzin. Bingeha granîtê bi taybetmendiyên xwe yên bêhempa, ji bo maseya vekolîna waferê ya nîvconductor dibe bijarteya îdeal, ya jêrîn ji analîza pir-alî ji bo we ye.
Pêşîn, pîvana garantiya rastîn
1. Rastbûn û rûtbûna pir bilind: Bingeha granît bi teknolojiya hilberînê ya pêşketî tê hilberandin, û rastbûn dikare bigihîje ±0.001mm/m an jî rastbûnek bilindtir, û rastbûn jî pir baş e. Di pêvajoya vekolîna waferê de, rûbera rastbûna bilind piştgiriyek stabîl ji bo waferê peyda dike û têkiliya rast di navbera sonda alavên vekolînê û girêdanên lehimê yên li ser rûyê waferê de misoger dike.
2. Koefîsyenteke pir kêm a berfirehbûna germî: çêkirina nîvconductoran ji guherînên germahîyê re hesas e, û koefîsyenteke berfirehbûna germî ya granît pir kêm e, bi gelemperî nêzîkî 5×10⁻⁶/℃ ye. Dema ku platforma tespîtkirinê dixebite, her çend germahiya hawîrdorê biguhere jî, mezinahiya bingeha granît pir hindik diguhere. Mînakî, di atolyeya germahiya bilind de di havînê de, germahiya platforma tespîtkirina bingeha metalê ya hevpar dikare bibe sedema guheztina pozîsyona nisbî ya wafer û alavên tespîtkirinê, ku bandorê li rastbûna tespîtkirinê dike; Platforma tespîtkirina bingeha granît dikare di dema pêvajoya tespîtkirinê de aramiyê biparêze, rastbûna pozîsyona nisbî ya wafer û alavên tespîtkirinê misoger bike, û ji bo tespîtkirina rastbûna bilind hawîrdorek aram peyda bike.
Duyemîn, pîvana îstîqrarê
1. Avahiya sabît û berxwedana li hember lerizînê: Granît piştî bi mîlyonan salan pêvajoyên jeolojîk, avahiya navxweyî ya wê zexm û yekreng e. Di hawîrdora tevlihev a kargehek nîvconductor de, lerizîna ku ji ber xebitandina alavên periferîk û personelên ku li dora xwe digerin çêdibe, ji hêla bingeha granîtê ve bi bandor tê sivikkirin.
2. Rastbûna Bikaranîna Demdirêj: Li gorî materyalên din, granit xwedî hişkbûnek bilind, berxwedana li hember aşînê ya bihêz e, û hişkbûna Mohs dikare bigihîje 6-7. Rûyê bingeha granit di dema barkirin, dakêşandin û operasyonên vekolînê yên pir caran ên waferê de bi hêsanî nayê aşîn. Li gorî karanîna rastîn a îstatîstîkên daneyan, karanîna maseya ceribandina bingeha granit, xebata domdar piştî 5000 demjimêran, rastbûna rûtbûn û rasterastbûnê hîn jî dikare li ser ji% 98 zêdetir ji rastbûna destpêkê were parastin, kêmkirina alavan ji ber aşînabûna bingehê ji ber demên kalibrasyon û lênêrînê yên birêkûpêk, kêmkirina lêçûnên xebitandina karsaziyê, da ku aramiya demdirêj a xebata ceribandinê were misoger kirin.
Sêyemîn, dimensiyona paqij û dij-destwerdanê
1. Çêbûna tozê kêm: Jîngeha çêkirina nîvconductoran divê pir paqij be, û materyalê granît bi xwe jî aram be û ne hêsan be ku perçeyên tozê çêbike. Di dema xebitandina platforma ceribandinê de, toza ku ji hêla bingehê ve çêdibe ji bo qirêjkirina waferê tê asteng kirin, û xetera kurteçûn û vebûna çerxerê ji ber perçeyên tozê kêm dibe. Li qada vekolîna waferê ya atolyeya bê toz, rêjeya tozê li dora maseya vekolîna bingeha granît her gav li astek pir kêm tê kontrol kirin, ku pêdiviyên paqijiyê yên hişk ên pîşesaziya nîvconductor bicîh tîne.
2. Bê destwerdana manyetîk: Amûrên tespîtkirinê li hember jîngeha elektromagnetîk hesas in, û granît materyalek ne-manyetîk e, ku dê destwerdanê neke bi sînyala elektronîkî ya amûrên tespîtkirinê. Di karanîna tespîtkirina tîrêjên elektronê û teknolojiyên din ên ceribandinê de ku hewceyê jîngehek elektromagnetîk a pir bilind in, bingeha granîtê veguhestina domdar a sînyala elektronîkî ya amûrên tespîtkirinê û rastbûna encamên ceribandinê misoger dike. Mînakî, dema ku wafer ji bo performansa elektrîkê ya rastbûna bilind tê ceribandin, bingeha granîtê ya ne-manyetîk ji destwerdana bi sînyalên herikîn û voltaja tespîtkirinê dûr dikeve, da ku daneyên tespîtkirinê bi rastî taybetmendiyên elektrîkê yên waferê nîşan bidin.
Dema şandinê: 31ê Adarê-2025