Çêkirina nîvconductor: Di pêvajoya çêkirina çîpê de, pêvajoya fotolîtografiyê hewce dike ku şêweya devreyê bi awayekî rast veguhezîne waferê. Bingeha granîtî ya modula tevgera ultra-rast a hewaya yek-eksenî dikare pozîsyonkirina rastbûna bilind û piştgiriyek stabîl ji bo maseya waferê di alavên lîtografiyê de peyda bike. Mînakî, ASML û hilberînerên makîneyên lîtografiyê yên navdar ên navneteweyî modulên tevgera hewaya şemitok a bingeha granîtî di alavên xwe yên asta bilind de bikar tînin, ku dikarin rastbûna pozîsyonkirina waferê di asta nanometreyê de kontrol bikin da ku rastbûna şêweya lîtografiyê misoger bikin, bi vî rengî entegrasyon û performansa çîpê baştir bikin.
Qada pîvandina rastbûnê: CMM amûrek pîvandina rastbûnê ye ku bi gelemperî di hilberîna pîşesaziyê de tê bikar anîn, ku ji bo pîvandina mezinahî, şekil û rastbûna pozîsyona perçeya kar tê bikar anîn. Modula tevgera ultra-rastbûnê ya floata hewayî ya yek-eksenî li ser bingeha granît dikare wekî platforma tevgerê ya CMM were bikar anîn, ku dikare tevgera xêzikî ya rastbûna bilind pêk bîne û rêgehek tevgera stabîl ji bo sonda pîvandinê peyda bike. Mînakî, CMM-ya bilind-end a Hexagon vê kombînasyonê bikar tîne da ku perçeyên mezin û tevlihev bi rastbûna pîvandinê heya asta mîkronê bipîve, garantiyek xurt ji bo kontrola kalîteya perçeyan di pîşesaziyên otomatîv, hewavanî û yên din de peyda dike.
Qada hewavaniyê: Di hilberandin û ceribandina parçeyên hewavaniyê de, rastbûnek bilind hewce ye. Bo nimûne, makînekirina pelan motora balafiran hewceyê kontrolkirina rast a rêça tevgera amûrê ye da ku rastbûna profîla pelan were misoger kirin. Bingeha granît a modula tevgera ultra-rast a hewaya yek-eksen dikare li navenda makînekirinê ya pênc-eksen û alavên din were sepandin da ku kontrola tevgera rastbûna bilind ji bo amûrê peyda bike û piştrast bike ku rastbûna makînekirinê ya pelan dikare hewcedariyên sêwiranê bicîh bîne. Di heman demê de, di pêvajoya civandina motora hewa de, pêdivî ye ku alavên pîvandinê yên rastbûna bilind jî werin bikar anîn da ku rastbûna civandina parçeyan were tespît kirin. Modula tevgera hewaya şemitok a bingeha granît dikare piştgiriyek domdar û tevgera rast ji bo alavên pîvandinê peyda bike da ku kalîteya civandinê were misoger kirin.
Qada vekolîna optîkî: Di pêvajoya çêkirin û ceribandina pêkhateyên optîkî de, pêdivî ye ku bicihkirin û pîvandina pêkhateyên optîkî ya rastbûna bilind were kirin. Mînakî, dema ku pêkhateyên optîkî yên rastbûna bilind ên wekî neynik û lensan têne çêkirin, pêdivî ye ku interferometer û alavên din werin bikar anîn da ku rastbûna şeklê rûberê were tespît kirin. Bingeha granît a modula tevgera ultra-rastbûna hewayê ya yek-eksen dikare wekî platforma tevgerê ya interferometer were bikar anîn, ku dikare rastbûna bicihkirina sub-mîkron pêk bîne û piştgiriya daneyên rast ji bo tespîtkirina pêkhateyên optîkî peyda bike. Wekî din, di alavên pêvajoya lazerê de, pêdivî ye ku platformek tevgera rastbûna bilind were bikar anîn da ku rêça şopandina tîrêjê lazerê kontrol bike, bingeha granît a modula tevgera hewa-rastbûna hewayê dikare vê hewcedariyê bicîh bîne, da ku pêvajoya lazerê ya rastbûna bilind bi dest bixe.
Dema şandinê: 07-04-2025