Pêkhateyên granît ji ber taybetmendiyên wan ên hêja yên wekî qedandina rûyê bilind, hişkbûna bilind û şilkirina lerzînê ya hêja, di pêvajoya çêkirina nîvconductoran de bi berfirehî têne bikar anîn. Pêkhateyên granît ji bo alavên çêkirina nîvconductoran, di nav de makîneyên lîtografiyê, makîneyên cilalkirinê û pergalên metrolojiyê girîng in, ji ber ku ew di dema pêvajoya çêkirinê de pozîsyonkirin û aramiya rast peyda dikin. Tevî hemî avantajên karanîna pêkhateyên granît, kêmasiyên wan jî hene. Di vê gotarê de, em ê li ser kêmasiyên pêkhateyên granît ji bo hilberên pêvajoya çêkirina nîvconductoran nîqaş bikin.
Pêşî, pêkhateyên granît xwedî katsayiyeke berfirehbûna germî ya bilind in. Ev tê vê wateyê ku ew di bin zexta germî de pir berfireh dibin, ku ev dikare di dema pêvajoya çêkirinê de bibe sedema pirsgirêkan. Pêvajoya çêkirina nîvconductoran hewceyê rastbûn û rastbûna pîvanî ya bilind e ku dikare ji ber zexta germî têk biçe. Mînakî, deformasyona wafera silîkonê ji ber berfirehbûna germî dikare di dema lîtografiyê de bibe sedema pirsgirêkên hevrêziyê, ku ev dikare kalîteya cîhaza nîvconductor têk bibe.
Duyemîn, pêkhateyên granît xwedî kêmasiyên porozîteyê ne ku dikarin di pêvajoya çêkirina nîvconductor de bibin sedema rijandina valahiyê. Hebûna hewayê an jî her gazek din di pergalê de dikare bibe sedema gemarîbûna li ser rûyê waferê, ku dibe sedema kêmasiyên ku dikarin bandorê li performansa cîhaza nîvconductor bikin. Gazên bêbandor ên wekî argon û helyûm dikarin bikevin nav pêkhateyên granît ên poroz û bilbilên gazê çêbikin ku dikarin destwerdanê li yekparçeyiya pêvajoya valahiyê bikin.
Sêyemîn, pêkhateyên granît xwedî mîkroşikestin in ku dikarin mudaxeleyî rastbûna pêvajoya çêkirinê bikin. Granît materyalek şikestî ye ku dikare bi demê re mîkroşikestinan pêş bixe, nemaze dema ku rastî çerxên stresê yên domdar were. Hebûna mîkroşikestinan dikare bibe sedema bêîstîqrariya boyûzî, ku di dema pêvajoya çêkirinê de dibe sedema pirsgirêkên girîng, wek hevrêzkirina lîtografiyê an jî cilandina waferê.
Çaremîn, pêkhateyên granît xwedî nermbûnek sînordar in. Pêvajoya çêkirina nîvconductor alavên nerm hewce dike ku dikarin guhertinên pêvajoyên cûda bicîh bînin. Lêbelê, pêkhateyên granît hişk in û nikarin xwe li gorî guhertinên pêvajoyên cûda biguncînin. Ji ber vê yekê, her guhertinek di pêvajoya çêkirinê de rakirin an guheztina pêkhateyên granît hewce dike, ku dibe sedema dema bêhnvedanê û bandorê li hilberînê dike.
Pêncemîn, pêkhateyên granît ji ber giranî û şikestina xwe hewceyê destgirtin û veguhastinek taybetî ne. Granît materyalek qelew û giran e ku hewceyê alavên destgirtinê yên taybetî yên wekî kran û hilgiran e. Wekî din, pêkhateyên granît hewceyê pakkirin û veguhastinek baldar in da ku di dema barkirinê de zirarê nebînin, ku dibe sedema lêçûn û demên zêde.
Di encamê de, pêkhateyên granît hin kêmasiyên wan hene ku dikarin bandorê li kalîte û hilberîna hilberên pêvajoya hilberîna nîvconductor bikin. Ev kêmasî dikarin bi rêya destwerdan û parastina bi baldarî ya pêkhateyên granît, di nav de vekolîna periyodîk ji bo mîkroşikestin û kêmasiyên porozîteyê, paqijkirina rast ji bo pêşîgirtina li qirêjbûnê, û destwerdana bi baldarî di dema veguhastinê de werin kêmkirin. Tevî kêmasiyan, pêkhateyên granît ji ber qedandina rûyê wan a bilind, hişkbûna wan a bilind, û şilkirina lerizînê ya hêja beşek girîng a pêvajoya hilberîna nîvconductor dimînin.
Dema şandinê: Kanûn-05-2023