Di warên çêkirina asta bilind û lêkolînên zanistî yên pêşketî de, platforma tevgera hewaya statîk a bi zexta rastîn alavên sereke ne ji bo bidestxistina operasyona ultra-rast. Bingeha granîtê ya rastîn beşa piştgiriyê ya bingehîn a platformê ye, û performansa wê bi jîngeha xebatê ve girêdayî ye. Fêmkirin û bicîhanîna van hewcedariyên jîngehê ne tenê dikare xebata bilind-rast a platformê misoger bike, lê di heman demê de beşek girîng a pargîdaniyê ye ku pêşbaziya xwe di warên têkildar de zêde bike, ku li jêr bi berfirehî tê vegotin.
1. Germahî: kontrola rast ji bo misogerkirina aramiya dimenî
Her çiqas granit bi aramiya xwe tê nasîn jî, katsayiya berfirehbûna germî ya wê ne sifir e, û guhertinên piçûk ên germahiyê hîn jî dikarin bandorê li rastbûna wê ya pîvanî bikin. Bi gelemperî, katsayiya berfirehbûna germî ya granitê 5-7 ×10⁻⁶/℃ ye. Di senaryoya sepandina platforma tevgera hewaya statîk a zexta rastîn de, ev guhertina piçûk ji hêla platformê ve tê zêdekirin, ku dibe ku bibe sedema jihevketina rastbûna tevgerê. Mînakî, di pêvajoya çêkirina çîpa nîvconductor de, pêvajoya lîtografiyê ji bo hewcedariyên rastbûna pozîsyonê yên asta danami, guherîna germahiya hawîrdorê 1°C, dirêjahiya kêlekê ya 1 metre bingeha granit dikare 5-7 mîkron berfirehbûn an girjbûna xêzikî çêbike, ku bes e ku jihevketina şêweya lîtografiya çîpê çêbike, hilberînê kêm bike. Ji ber vê yekê, platforma hewaya statîk a zexta rastîn a ku bi bingeha granit a rastîn ve hatî çêkirin, germahiya hawîrdora xebatê ya îdeal divê bi hişkî li 20°C ±1°C were kontrol kirin, pargîdanî dikarin pergala klîmayê ya germahiya sabît a rastbûna bilind saz bikin, bi berdewamî germahiya hawîrdorê bişopînin û bi rastî rast bikin, mezinahiya bingeha granitê aramiya xwe biparêzin, da ku piştrast bikin ku platform xebitandina rastbûna bilind e.
2.humidity: kontrola maqûl, parastina performansa bingehîn
Şilî bandorek girîng li ser bingehên granîtê yên rasteqîn jî dike. Di hawîrdorek şilbûna bilind de, granît bi hêsanî buxara avê dikişîne, û dibe ku li ser rûyê wê kondensasyon çêbibe, ku ne tenê dê mudaxeleyî xebata normal a pergala flotasyona hewayê bike, lê di heman demê de dê bibe sedema xirokbûna demdirêj a rûyê granîtê, rastbûn û temenê karûbarê wê kêm bike. Mînaka atolyeya hûrkirina lensên optîkî, heke şilî ji bo demek dirêj ji% 60 RH bilindtir be, buxara avê ya ku li ser rûyê bingeha granîtê tê kişandin dê yekrengiya fîlima flotasyona hewayê xera bike, di encamê de dê rastbûna hûrkirina lensê û kêmasiyên rûyê kêm bibe. Ji ber vê yekê, şilbûna nisbî ya hawîrdora xebatê divê di navbera% 40-60 RH de were kontrol kirin. Pargîdanî dikarin dehumidîfker, sensorên şilbûnê û alavên din bikar bînin da ku şilbûnê di wextê rast de bişopînin û kontrol bikin, hawîrdorek şilbûnê ya guncan ji bo bingeha granîtê ya rasteqîn biafirînin, û xebata domdar a platforma tevgera hewaya şemitok a zexta statîk a rasteqîn misoger bikin.
3. paqijî: bi hişkî kontrol bikin, destwerdana perçeyan ji holê rakin
Parçeyên tozê "dijminê" platforma tevgera hewayî ya zexta statîk a rastîn in, û zirarên mezin didin bingeha rastîn a granît. Dema ku parçeyên piçûk dikevin valahiya fîlma gazê ya di navbera şemitoka gazê û bingeha granît de, ew dikarin yekrengiya fîlma gazê xera bikin, sürtûnê zêde bikin, û heta rûyê bingehê jî bixurînin, ku bandorek cidî li ser rastbûna tevgera platformê dike. Di atolyeya makînekirina ultra-rast a parçeyên fezayî de, heke parçeyên tozê yên di hewayê de li ser bingeha granît bikevin, rêça tevgera amûra makînekirinê dikare were guheztin, ku bandorê li rastbûna makînekirina parçeyan bike. Ji ber vê yekê, divê qada xebatê pir paqij were girtin û bigihîje standarda paqijiyê ya 10,000 an jî bilindtir. Kargeh dikarin parçeyên tozê yên di hewayê de bi sazkirina fîlterên hewayê yên bi bandora bilind (HEPA) fîltre bikin, û ji karmendan dixwazin ku cil û bergên bê toz, pêlav û hwd. li xwe bikin, da ku toza ku ji hêla mirovan ve tê anîn kêm bikin, û jîngeha xebitandinê ya rastbûna bilind a bingeha granît û platforma tevgera hewayî ya zexta statîk a rastîn biparêzin.
4. Lerizîn: Tecrîdkirina bi bandor ji bo afirandina cîhek nerm
Lerizîna derve dê bi giranî mudaxeleyî rastbûna platforma hewaya statîk a zexta rastîn a şemitok bike, her çend bingeha granîtê ya rastîn xwedî kapasîteya kêmkirina lerizînê ya diyarkirî be jî, lê lerizîna hêza bilind hîn jî dikare sînorê wê yê tamponê bişkîne. Lerizîna ku ji hêla trafîka li dora kargehê û xebitandina alavên mekanîkî yên mezin ve çêdibe, bi rêya erdê ve digihîje bingeha granîtê, ku dê mudaxeleyî rastbûna tevgera platformê bike. Di CMM-ya asta bilind de, lerizîn dikare bibe sedema ku têkiliya di navbera sonda pîvandinê û perçeya xebatê ya ku were pîvandin nearam bibe, ku di encamê de daneyên pîvandinê ji holê rabin. Ji bo çareserkirina vê pirsgirêkê, pêdivî ye ku tedbîrên îzolekirina lerizînê yên bi bandor werin girtin, wek danîna pêlavên îzolekirina lerizînê li qada sazkirina alavan, avakirina bingeha îzolekirina lerizînê, an karanîna pergala îzolekirina lerizîna çalak ji bo veguheztina çalak a lerizîna derveyî, û afirandina hawîrdorek xebatê ya bêdeng û aram ji bo bingeha granîtê ya rastîn û platforma tevgera hewaya statîk a rastîn.
Ji bo ku bi tevahî sûdên bingeha rastbûna granît di platforma tevgera hewaya statîk a rastîn de were bikar anîn, pêdiviyên jîngehê yên jorîn bicîh bînin, da ku platform ji bo pîşesaziyên cûrbecûr karûbarên kontrola tevgerê yên rastbûna bilind û aramiya bilind peyda bike. Ger pargîdanî di jîngeha hilberînê de bala xwe bidin van hûrguliyan, ew ê di hilberîna rastbûn, lêkolînên zanistî û warên din de derfetê bikar bînin, pêşbaziya xwe zêde bikin û pêşkeftina domdar bi dest bixin.
Dema weşandinê: 10ê Nîsanê-2025