Di warê çêkirina nîvconductoran de, rastbûna alavên vekolîna waferan rasterast kalîte û hilberîna çîpan diyar dike. Wekî bingeha ku piştgirîya pêkhateyên tespîtkirina bingehîn dike, aramiya pîvanî ya materyalê bingehîn ê alavan di performansa xebitandinê ya demdirêj a alavan de rolek girîng dilîze. Granît û hesinê avêtin du materyalên bingehîn ên ku bi gelemperî ji bo alavên vekolîna waferan têne bikar anîn in. Lêkolînek berawirdî ya 10-salî cûdahiyên girîng ên di navbera wan de di warê aramiya pîvanî de eşkere kiriye, û referansên girîng ji bo hilbijartina alavan peyda kiriye.
Paşxane û Sêwirana Ceribandinê
Pêvajoya hilberîna waferên nîvconductor ji bo rastbûna tespîtkirinê pêdiviyên pir zêde hene. Heta guherînek di asta mîkrometerê de jî dikare bibe sedema kêmbûna performansa çîpê an jî hilweşandinê. Ji bo lêkolîna aramiya dimenî ya granît û hesinê avêtinê di dema karanîna demdirêj de, tîmê lêkolînê ceribandinên ku jîngehên xebatê yên rastîn simulasyon dikin sêwirand. Nimûneyên granît û hesinê avêtinê yên heman taybetmendî hatin hilbijartin û di odeyek jîngehê de hatin danîn ku germahî ji 15℃ heta 35℃ û şilbûn ji %30 heta %70 RH diguhere. Lerizîna mekanîkî di dema xebitandina alavan de bi rêya tabloyek lerizînê hate simulasyon kirin. Pîvanên sereke yên nimûneyan her sê mehan carekê bi karanîna interferometreyek lazer a rastbûna bilind hatin pîvandin, û daneyên 10 salan bi berdewamî hatin tomar kirin.
Encama ceribandinê: Sûdê mutleq ê granîtê
Deh sal daneyên ceribandinê nîşan didin ku substrata granît aramiyek ecêb nîşan dide. Koefîsyenta wê ya berfirehbûna germî pir kêm e, bi navînî tenê 4.6×10⁻⁶/℃ ye. Di bin guhertinên germahiyê yên dijwar de, cûdahiya pîvanan her gav di nav ±0.001mm de tê kontrol kirin. Li hember guhertinên şilbûnê, avahiya qelew a granît hema hema bêbandor dike, û tu guhertinên pîvanan ên pîvanbar çênabin. Di hawîrdorek lerizîna mekanîkî de, taybetmendiyên şilbûnê yên hêja yên granît bi bandor enerjiya lerizînê dimijin, û guherîna pîvanan pir piçûk e.
Berevajî vê, ji bo substrata hesinê avêtinê, katsayiya wê ya navînî ya berfirehbûna germî digihîje 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, û herî zêde cudabûna pîvanî ya ji ber guherînên germahiyê di nav 10 salan de ±0.05 mm ye. Di hawîrdorek şil de, hesinê avêtinê meyldarê zengarbûn û korozyonê ye. Hin nimûne deformasyona herêmî nîşan didin, û cudabûna pîvanî hîn bêtir zêde dibe. Di bin bandora lerizîna mekanîkî de, performansa şuştina lerizînê ya hesinê avêtinê nebaş e û mezinahiya wê pir caran diguhere, ku pêkanîna hewcedariyên rastbûna bilind ên vekolîna waferê dijwar dike.
Sedema bingehîn a cudahiya di îstîqrarê de
Granît di nav sed milyon salan de bi rêya pêvajoyên jeolojîk çêbûye. Avahiya wê ya navxweyî tîr û yekreng e, û krîstalên mîneral bi awayekî sabît hatine rêzkirin, ku bi xwezayî stresa navxweyî ji holê radike. Ev yek wê ji guhertinên faktorên derveyî yên wekî germahî, şilbûn û lerizînê pir bêhesas dike. Hesinê avêtinê bi pêvajoya avêtinê tê çêkirin û di hundurê wê de kêmasiyên mîkroskopîk ên wekî kun û qulên qûmê hene. Di heman demê de, stresa mayî ya ku di dema pêvajoya avêtinê de çêdibe, di bin teşwîqa jîngeha derveyî de dibe sedema guhertinên pîvanî. Taybetmendiyên metalî yên hesinê avêtinê wê ji ber şilbûnê meyldar dike ku zengar bibe, zirara avahiyê zûtir bike û aramiya pîvanî kêm bike.
Bandora li ser alavên vekolîna waferê
Amûrên vekolîna waferê yên li ser bingeha substrata granît, bi performansa xwe ya pîvanî ya sabît, dikarin piştrast bikin ku pergala vekolînê ji bo demek dirêj rastbûna bilind biparêze, şaşnirxandin û tespîtkirina winda ya ji ber guheztina rastbûna alavan kêm bike, û hilberîna hilberê bi girîngî baştir bike. Di heman demê de, hewcedariyên lênêrînê yên kêm lêçûna tevahiya çerxa jiyana alavan kêm dikin. Amûrên ku substratên hesinî yên avêtin bikar tînin, ji ber aramiya pîvanî ya nebaş, hewceyê kalibrasyon û lênêrînê ya pir caran dikin. Ev ne tenê lêçûnên xebitandinê zêde dike lê di heman demê de dibe ku ji ber rastbûna nebaş bandorê li kalîteya hilberîna nîvconductor bike, ku dibe sedema windahiyên aborî yên potansiyel.
Di bin meyla pîşesaziya nîvconductor de ji bo rastbûnek bilindtir û kalîteyek çêtir, hilbijartina granîtê wekî materyalê bingehîn ji bo alavên vekolîna wafer bê guman gavek aqilmend e ji bo misogerkirina performansa alavan û zêdekirina pêşbaziya pargîdaniyan.
Dema weşandinê: 14ê Gulana 2025an