Li gorî pêdiviyên hişk ên rastbûna bilind û pêbaweriya bilind di pîşesaziya nîvconductor de, her çend granit yek ji materyalên bingehîn be jî, taybetmendiyên wê hin sînorkirin jî bi xwe re tînin. Dezawantaj û zehmetiyên wê yên sereke di sepanên pratîkî de ev in:
Pêşîn, materyal pir şikestî ye û hilberandina wê dijwar e.
Xetera şikestinê: Granît di bingeh de kevirê xwezayî ye ku di hundurê wê de mîkro-şikestinên xwezayî û sînorên perçeyên mîneral hene, û ew materyalek şikestî ya tîpîk e. Di makînekirina pir-rast de (wek hûrkirina nanopîvan û pêvajoya rûbera qurkirî ya tevlihev), heke hêz ne yeksan be an parametreyên pêvajoyê ne guncaw bin, pirsgirêkên wekî çîpkirin û belavbûna mîkro-şikestinê meyla çêbûna wan heye, ku dibe sedema perçekirina perçeyê kar.
Karîgeriya hilberînê ya kêm: Ji bo rêgirtina li şikestina şikestî, pêvajoyên taybetî yên wekî hûrkirina leza nizm bi tekerên hûrkirina elmasê û cilandina magnetoreolojîk hewce ne. Çerxa hilberînê ji %30 heta %50 ji ya materyalên metal dirêjtir e, û lêçûna veberhênana alavan zêde ye (mînakî, bihayê navendeke makînekirinê ya girêdana pênc-eksenî ji 10 mîlyon yuanî derbas dibe).
Sînorkirinên avahiyên aloz: Bi rêya rijandin, çêkirin û pêvajoyên din çêkirina avahiyên sivik û vala dijwar e. Ew bi piranî di şeklên geometrîkî yên hêsan de wekî plaka û bingehan tê bikar anîn, û sepandina wê di alavên ku piştgiriyên nerêkûpêk an entegrasyona boriyên navxweyî hewce dikin de sînorkirî ye.
Duyemîn, dendika bilind dibe sedema barekî giran li ser alavan.
Zehmetiya destgirtin û sazkirinê: Tîrbûna granît bi qasî 2.6-3.0 g/cm³ e, û giraniya wê di heman qebareyê de 1.5-2 caran ji ya hesinê qalibkirî mezintir e. Mînakî, giraniya bingehek granît ji bo makîneyek fotolîtografiyê dikare bigihîje 5 heta 10 tonan, ku alavên rakirinê yên taybetî û bingehên li hember şokê-berxwedêr hewce dike, ku lêçûna avakirina kargehê û bicihkirina alavan zêde dike.
Derengiya bersiva dînamîk: Bêçalakiya bilind lezandina beşên tevgerbar ên alavan sînordar dike (wek robotên veguhastina wafer). Di senaryoyên ku destpêk û rawestandina bilez hewce ne (wek alavên vekolîna bilez), ew dikare bandorê li rîtma hilberînê bike û karîgeriyê kêm bike.
Sêyemîn, lêçûna tamîrkirin û dubarekirinê bilind e
Tamîrkirina kêmasiyan dijwar e: Ger di dema karanînê de xisar an zirara ji ber lêdanê çêbibe, pêdivî ye ku ew ji bo tamîrkirinê bi rêya alavên hûrkirinê yên profesyonel ji kargehê re were vegerandin, ku ev yek li ser kargehê bi lez nayê çareserkirin. Berevajî vê, pêkhateyên metalî dikarin bi rêbazên wekî kaynakirina xalî û pêçandina lazerê tavilê werin tamîrkirin, ku di encamê de dema bêçalakiyê kurttir dibe.
Çerxa dubarekirina sêwirandinê dirêj e: Cûdahiyên di damarên granîtî yên xwezayî de dibe ku di taybetmendiyên materyalê de (wek katsayiya berfirehbûna germî û rêjeya şilbûnê) ya komên cûda de guherînên sivik çêbike. Ger sêwirana alavan biguhere, pêdivî ye ku taybetmendiyên materyalê ji nû ve werin hevber kirin, û çerxa verastkirina lêkolîn û pêşveçûnê nisbeten dirêj e.
IV. Çavkaniyên Sînorkirî û Pirsgirêkên Jîngehê
Kevirê xwezayî nayê nûjenkirin: Granîta bi kalîte (wek "Jinan Green" û "Sesame Black" ku di nîvconductoran de tê bikar anîn) xwe dispêre damarên taybetî, rezervên wê sînordar in û madenkirina wê ji hêla polîtîkayên parastina jîngehê ve sînordar e. Bi berfirehbûna pîşesaziya nîvconductoran re, dibe ku xetereya dabînkirina madeya xav a nearam hebe.
Pirsgirêkên qirêjiya pêvajoyê: Di pêvajoyên birrîn û hûrkirinê de, mîqdarek mezin ji toza granît (ku tê de silîkon dîoksît heye) çêdibe. Ger bi rêkûpêk neyê bikar anîn, dibe ku bibe sedema sîlîkozê. Wekî din, pêdivî ye ku ava qirêj berî ku were derxistin bi rêka sedîmentasyonê were paqijkirin, ku ev yek veberhênana parastina jîngehê zêde dike.
Pênc. Lihevhatina têrê bi pêvajoyên nû re
Sînorkirinên jîngeha valahiyê: Hin pêvajoyên nîvconductor (wek pêçandina valahiyê û lîtografiya tîrêjên elektronê) hewce dikin ku di hundurê alavê de rewşek valahiyek bilind biparêzin. Lêbelê, mîkro-porên li ser rûyê granît dikarin molekulên gazê bikişînin, ku hêdî hêdî têne berdan û bandorê li aramiya pileya valahiyê dikin. Ji ber vê yekê, dermankirina zêde ya densifiasyona rûyê (wek impregnasyona rezînê) pêdivî ye.
Pirsgirêkên lihevhatina elektromanyetîk: Granît materyalek îzoleker e. Di senaryoyên ku tê de rijandina elektrîka statîk an parastina elektromanyetîk hewce ye (wek platformên adsorpsiyona elektrostatîk a wafer), pêdivî ye ku pêçanên metal an fîlimên guhêrbar werin çêkirin, ku ev yek tevliheviya avahî û lêçûnê zêde dike.
Stratejiya bersiva pîşesaziyê
Tevî kêmasiyên ku li jor hatine behs kirin, pîşesaziya nîvconductor bi rêya nûjeniya teknolojîk qismî kêmasiyên granît telafî kiriye:
Sêwirana avahiya tevlihev: Ew tevlîheviya "bingeha granît + çarçoveya metal" dipejirîne, hem hişkbûn û hem jî sivikbûnê li ber çavan digire (mînakî, hilberînerek makîneya fotolîtografiyê avahiyek şaneya hingiv a alloyûmê di bingeha granît de bicîh dike, giraniyê bi rêjeya 40% kêm dike).
Materyalên alternatîf ên sentetîk ên sûnî: Kompozîtên matrîksa seramîk (wek seramîkên karbîda silîkonê) û kevirên sûnî yên li ser bingeha rezîna epoksî pêşve bibin da ku aramiya germî û berxwedana lerizînê ya granîtê simul bikin, di heman demê de nermbûna pêvajoyê zêde bikin.
Teknolojiya pêvajoya aqilmend: Bi danasîna algorîtmayên AI-ê ji bo baştirkirina rêya pêvajoyê, simulasyona stresê ji bo pêşbînîkirina rîskên şikestinê, û bi hev re tespîtkirina serhêl ji bo sererastkirina parametreyan di wextê rast de, rêjeya bermayiyên pêvajoyê ji %5 daketiye jêr %1.
Berhevkirinî
Kêmasiyên granît di pîşesaziya nîvconductor de bi giranî ji lîstika di navbera taybetmendiyên materyalên wê yên xwezayî û daxwazên pîşesaziyê de derdikevin. Bi pêşketina teknolojiyê û pêşxistina materyalên alternatîf re, senaryoyên sepandina wê dibe ku hêdî hêdî ber bi "pêkhateyên referansa bingehîn ên bêguherîn" (wek rêlên rêber ên hîdrostatîk ji bo makîneyên fotolîtografiyê û platformên pîvandina ultra-rast) ve biçin, di heman demê de hêdî hêdî rê bidin materyalên endezyariyê yên nermtir di pêkhateyên avahîsaziyê yên ne-krîtîk de. Di pêşerojê de, ka meriv çawa performans, lêçûn û domdariyê hevseng dike dê mijarek be ku pîşesazî berdewam dike ku lêkolîn bike.
Dema weşandinê: 24ê Gulana 2025an