Nûçe - Çima Amûrên Nîvconductor Bingehên Granît Bi Kar Tînin: 5 Sedemên Girîng

Çima Hilberînerên Amûrên Nîvconductor Bingehên Granîtên Siruştî Diyar Dikin - 5 Sedemên Girîng

Di cîhana çêkirina nîvconductoran a bi metirsiyên bilind de, ku mezinahîyên taybetmendiyan bi nanometreyan têne pîvandin, bingeha makîneyê bi qasî optîk an pergala valahiyê girîng e. Çi makîneyeke vekolîna wafer be, çi jî pergaleke lîtografiya ultraviyole ya kûr (DUV), OEM-ên cîhanî bi berdewamî ji bo bingehên xwe yên avahîsaziyê granîta reş a xwezayî destnîşan dikin.

Lê çima kevirê xwezayî di pîşesaziyekê de ku ji hêla materyalên sentetîk ên pêşkeftî ve tê destnîşankirin standarda zêrîn e? Li vir pênc sedemên teknîkî hene ku çima granîta xwezayî ji bo alavên nîvconductor bijarteyek ne-guftûgo ye.

1. Aramiya Germahî ya Bilind di Fabê de

Jîngeha "Front-End" a nîvconductor pêdivî bi hevgirtineke mutleq a pîvanî heye. Heta beşek ji pileya guherîna germahiyê jî dikare bibe sedema berfirehbûna avahiyên metalîk, ku dibe sedema xeletiyên pêvekirinê an "nezelalbûnê" di lîtografiyê de.

Granîta xwezayî xwedî Koefîsyenta Berfirehbûna Germahî (CTE) ya pir kêm e. Dema ku em berawird dikinbingeha granîtJi bo makîneyeke vekolîna waferê li şûna alternatîfeke pola an jî aluminiumê, granit tevî guhertinên piçûk ên hawîrdorê jî ji hêla pîvanî ve "cemidî" dimîne. Ev bêçalaktiya germî piştrast dike ku rêya optîkî ji wafera yekem a guhertinê heta ya dawî rast dimîne.

2. Ji bo Rastbûna Nanometreyê, Damkirina Lerizînê ya Awarte

Amûrên lîtografiyê û amûrên metrolojiyê yên çareseriya bilind ji "deng" re - lerizînên ji qata kargehê, fanên sarkirinê, an jî destgirtên wafer ên robotîk - pir hesas in.

Her çiqas metal meyla "zengilkirinê" (piştî lêdanê ji bo demek dirêj dilerizin) dikin jî, granîta xwezayî xwedî kapasîteyek bilind a şilkirina navxweyî ye. Ew enerjiya kînetîk bi lez dimije û belav dike. Ev granîta şilkirina lerzînê ji bo alavên lîtografiyê dihêle ku makîne piştî tevgera qonaxê ya bi leza bilind zûtir rûne, û bi girîngî rêjeya "Yekîneyên Saetê" (UPH) ya amûrê zêde dike.

3. Ne-Mignetîkî û Elektrîkî Ne-Guherbar

Pêvajoyên nîvconductor pir caran tîrêjên elektronê yên hesas (tîrêj-E) an motorên xêzikî yên magnetîkî yên rastbûna bilind dihewînin. Bingehek metalî dikare bi van zeviyên magnetîkî re mudaxele bike an jî herikên eddy çêbike ku rastbûna sensorê têk dide.

Wekî îzolek xwezayî, granit platformek metrolojiya ne-magnetîkî ji bo odeyên paqij peyda dike. Ew destwerdanê li hawîrdora elektromagnetîkî ya amûrê nake, û di dema nexşeya topografiya wafer an vekolîna kêmasiyan de dihêle ku daneyên paqij û bê xirabûn hebin.

4. Berxwedana Korozyonê û Lihevhatina Odeya Paqij

Di odeyeke paqij de (Sınıfa 1 an Sınıfa 10), derxistina gazê û çêbûna perçeyan dijminên berhemê ne. Berevajî hesinê avêtin an pola, granîta xwezayî zeng nake, oksîde nake, û boyax û pêçanên kîmyewî yên ku dikarin bi demê re biqelişin an gaz derxînin, hewce nake.

Granît ji hêla kîmyayî ve bêbandor e. Tewra dema ku rastî ajanên paqijkirinê yên taybetî yên ku di kargehek nîvconductor de têne bikar anîn were jî, ew yekparebûna rûyê xwe diparêze. Avahiya wê ya bi densiteya bilind (nêzîkî 3100kg/m³) piştrast dike ku ew di tevahiya çerxa jiyana alavan de "bêalî-partîkel" dimîne.

5. Bi rêya lêdana bi destan "Rastbûna Rastîn" bi dest xistin

Di pîşesaziya nîvconductoran de, "rût" têra xwe rût nîne. Parçe pir caran hewceyê rastbûna asta nano ne ku makîneyên CNC nikarin bi dest bixin.

Granîta xwezayî rê dide lêkirina bi destan, pêvajoyek rafineriya destanî ku tê de teknîsyenên pispor toleransên rûtbûnê yên bi qasî ±0.001 mm bi dest dixin. Ev asta rastbûnê ji bo qonaxên hewa-hilgir ên ku di skanerên wafer ên nûjen de têne bikar anîn girîng e, ku divê valahiya hewayê di navbera qonaxê û bingehê de li seranserê rêza rêwîtiyê bi rengek bêkêmasî yekreng bimîne.

Awantaja ZHHIMG: Rastbûn ji bo Nano-Serdemê

Li UNPARALLELED (ZHHIMG), em aramiya germî ya granît di kargehên nîvconductor de ji her kesî çêtir fam dikin. Em pêkhateyên granît ên bi endezyariya taybet hatine çêkirin ji hilberînerên amûrên nîvconductor ên pêşeng ên cîhanê re peyda dikin, ku di van mijaran de pispor in: