♦Alumina(Al2O3)
Parçeyên seramîk ên bi hûrgilî yên ku ji hêla Koma Çêkirina Jîr a ZhongHui (ZHHIMG) ve têne hilberandin, dikarin ji madeyên xav ên seramîk ên paqijiya bilind, 92~97% alumina, 99.5% alumina, >99.9% alumina, û pêlkirina îzostatîk a sar a CIP werin çêkirin. Sinterkirina germahiya bilind û makînekirina rast, rastbûna pîvanan ± 0.001 mm, nermbûn heya Ra0.1, germahiya karanînê heya 1600 pileyan. Rengên cûda yên seramîkê dikarin li gorî hewcedariyên xerîdaran werin çêkirin, wek: reş, spî, bej, sorê tarî, hwd. Parçeyên seramîk ên bi hûrgilî yên ku ji hêla pargîdaniya me ve têne hilberandin li hember germahiya bilind, korozyon, aşîn û îzolasyonê berxwedêr in, û dikarin demek dirêj di germahiya bilind, valahiyê û hawîrdora gaza korozîf de werin bikar anîn.
Bi berfirehî di cûrbecûr alavên hilberîna nîvconductor de tê bikar anîn: Çarçove (braketa seramîk), Bingeh (bingeh), Baz/Pird (manîpulator), Pêkhateyên Mekanîkî û Hilgirtina Hewayî ya Seramîk.
| Navê Berhemê | Lûleya Çargoşe / Borî / Çîp a Seramîk a Alumina ya Paqijiya Bilind 99 | |||||
| Naverok | Yekbûn | %85 Al2O3 | %95 Al2O3 | %99 Al2O3 | 99.5 % Al2O3 | |
| Tîrbûn | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Vegirtin Avê | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Germahiya Sînterkirî | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Hişkbûn | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Hêza Çemandinê (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Hêza Zextkirinê | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Germahiya Xebata Demdirêj | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Germahiya Xebatê ya Herî Zêde | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Berxwedana Qebareyê | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Serlêdana seramîkên alumina yên paqijiya bilind:
1. Ji bo alavên nîvconductor tê sepandin: çakê valahiya seramîk, dîska birrînê, dîska paqijkirinê, ÇAKÊ seramîk.
2. Parçeyên veguhastina waferê: çakên desteserkirina waferê, dîskên birrîna waferê, dîskên paqijkirina waferê, qedehên vafter ên vekolîna optîkî ya waferê.
3. Pîşesaziya dîmendera panela LED / LCD: nozula seramîk, dîska hûrkirina seramîk, PINa LIFT, rêla PIN.
4. Ragihandina optîkî, pîşesaziya enerjiya rojê: lûleyên seramîk, çîpên seramîk, skraperên seramîk ên çapkirina ekranê yên panela devreyê.
5. Parçeyên berxwedêr ên germê û îzoleker ên elektrîkê: bearingên seramîk.
Niha, seramîkên oksîda aluminiumê dikarin werin dabeşkirin bo seramîkên paqijiya bilind û seramîkên hevpar. Seriya seramîkên oksîda aluminiumê ya paqijiya bilind behsa materyalê seramîk dike ku ji %99.9 zêdetir Al₂O₃ dihewîne. Ji ber germahiya sinterkirinê ya heta 1650 - 1990°C û dirêjahiya pêlê ya veguhestina wê 1 ~ 6μm, ew bi gelemperî li şûna xaçerêya platîn di cama helandî de tê hilberandin: ku dikare wekî lûleya sodyûmê were bikar anîn ji ber veguhestina ronahiyê û berxwedana korozyonê ya li hember metala alkalî. Di pîşesaziya elektronîkê de, ew dikare wekî materyalê îzolekirina frekansa bilind ji bo substratên IC were bikar anîn. Li gorî naveroka cûda ya oksîda aluminiumê, seriya seramîkên oksîda aluminiumê yên hevpar dikarin werin dabeşkirin bo seramîkên 99, seramîkên 95, seramîkên 90 û seramîkên 85. Carinan, seramîkên ku %80 an 75 oksîda aluminiumê tê de hene jî wekî seriya seramîkên oksîda aluminiumê yên hevpar têne dabeş kirin. Di nav wan de, materyalê seramîk ê oksîda aluminiumê 99 ji bo hilberîna xaçerêya germahiya bilind, lûleya firna agirnegir û materyalên taybetî yên li hember aşînê berxwedêr, wekî beringên seramîk, mohrên seramîk û plakayên valvê tê bikar anîn. Seramîkên aluminiumê 95 bi giranî wekî beşek li hember aşînê berxwedêr a korozyonê tê bikar anîn. Seramîkên 85 bi gelemperî di hin taybetmendiyan de têne tevlihev kirin, bi vî rengî performansa elektrîkê û hêza mekanîkî baştir dikin. Ew dikare molîbden, niyobyum, tantalum û mohrên metal ên din bikar bîne, û hin wekî cîhazên valahiyê yên elektrîkê têne bikar anîn.
| Babetê Kalîteyê (Nirxa Nûnerî) | Navê Berhemê | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Pêkhateya Kîmyewî Sodyûma Kêm Berhema Sînterkirina Hêsan | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Pir ken | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Qûtra Perçeyên Navîn (MT-3300, rêbaza analîza lazerê) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Mezinahiya Krîstala α | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Çêkirina Tîrbûnê** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Tîrbûna Sînterkirinê** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Rêjeya Kêmbûna Xeta Sinterkirinê** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO di hesabkirina paqijiya Al₂O₃ de nayê hesibandin.
* Toza pîskirinê tune 29.4MPa (300kg/cm²), germahiya sinterkirinê 1600°C ye.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO lê zêde bike, sinterabilî pir baş e, ji ber vê yekê ew ji bo seramîkên oksîda aluminiumê yên bi paqijiya ji% 99 zêdetir tê sepandin.
AES-22S: Bi dendika bilind a avakirinê û rêjeya piçûkbûna nizm a xeta sinterkirinê ve tête taybetmend kirin, ew ji bo rijandina forma şemitok û hilberên din ên mezin ên bi rastbûna pîvanî ya pêwîst tê sepandin.
AES-23 / AES-31-03: Ew xwedî densiteya avabûnê, tiksotropî û vîskozîteya wê ya kêmtir ji AES-22S ye. Ya berê ji bo seramîkê tê bikar anîn dema ku ya paşîn wekî kêmkerê avê ji bo materyalên agirnegir tê bikar anîn, û populerbûnek bi dest dixe.
♦Taybetmendiyên Sîlîkon Karbîd (SiC)
| Taybetmendiyên Giştî | Paqijiya pêkhateyên sereke (wt%) | 97 | |
| Reng | Reş | ||
| Tîrbûn (g/cm³) | 3.1 | ||
| Vegirtina avê (%) | 0 | ||
| Taybetmendiyên Mekanîkî | Hêza xwarbûnê (MPa) | 400 | |
| Modula Ciwan (GPa) | 400 | ||
| Hişkbûna Vickers (GPa) | 20 | ||
| Taybetmendiyên Germahî | Germahiya herî zêde ya xebitandinê (°C) | 1600 | |
| Koefîsyenta berfirehbûna germî | Germahiya germê ~ 500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | Germahiya germê ~ 800°C | 4.3 | |
| Germahiya guhêzbar (W/m x K) | 130 110 | ||
| Berxwedana şoka germî ΔT (°C) | 300 | ||
| Taybetmendiyên Elektrîkî | Berxwedana qebareyê | 25°C | 3 x 106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Sabita dîelektrîkî | 10GHz | - | |
| Windabûna dîelektrîkî (x 10-4) | - | ||
| Faktora Q (x 104) | - | ||
| Voltaja şikestina dîelektrîkî (KV/mm) | - | ||
♦ Sîlîkon Nîtrîd Seramîk
| Mal | Yekbûn | Si₃N₄ |
| Rêbaza Sinterkirinê | - | Zexta Gazê ya Sînterkirî |
| Tîrbûn | g/cm³ | 3.22 |
| Reng | - | Gewrê Tarî |
| Rêjeya Vegirandina Avê | % | 0 |
| Modulusa Ciwan | GPA | 290 |
| Hişkbûna Vickers | GPA | 18 - 20 |
| Hêza Zextkirinê | Mpa | 2200 |
| Hêza Çemandinê | Mpa | 650 |
| Gehîneriya Germahî | W/mK | 25 |
| Berxwedana Şoka Germahî | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | °C | 1200 |
| Berxwedana Qebareyê | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Sabita Dîelektrîkî | - | 8.2 |
| Hêza Dîelektrîkî | kV/mm | 16 |